چرا استفاده از بازتابندههای طلاکاریشده برای فرآیند خشک کردن ویفرها اهمیت دارد؟
هنگام خشک کردن ویفرها، در واقع باید مدیریت صحیحی بر بودجه انرژی انجام داد. اکثر مردم از بازتابندههای استاندارد آلومینیومی استفاده میکنند، اما مشکل اینجاست که بخش زیادی از گرمای تولید شده، به داخل بدنه دستگاه نفوذ میکند؛ یعنی انرژی هدر میرود.
به همین دلیل از طلا استفاده میکنیم. البته این روش شاید پیچیده به نظر برسد، اما کاملاً عملی است. طلا در بازتاب نور مادون قرمز بسیار مؤثر است؛ یعنی نور را دقیقاً به جایی که لازم است، یعنی روی ویفر، هدایت میکند.
به جای اینکه انرژی را صرف گرم کردن فضای کارخانه کنیم، میتوانیم از هر وات انرژی به درستی استفاده کنیم. این کار باعث میشود بتوانیم به دماهای مورد نظر برسیم، بدون اینکه مصرف انرژی به شدت افزایش یابد.
شکل بازتابنده نیز اهمیت دارد.
اگر منحنی بازتابنده کمی نادرست باشد، در نتیجه «نقاط سرد» در اطراف ویفرها ایجاد خواهد شد؛ یا حتی ویفرها دچار تغییر شکل خواهند شد. ما از منحنیهای پارابولیک و بیضوی برای نگه داشتن گرما در جای خود استفاده میکنیم؛ در نتیجه پروفایل حرارتی یکنواختی در سراسر ویفر ایجاد میشود. دیگر نیازی به حدس و گمان یا خشک کردن ناهموار ویفرها نیست.
اما یک نکته مهم وجود دارد: طلا اگرچه کارایی بالایی دارد، اما بسیار حساس است. لطفاً، به خاطر سلامت تجهیزاتتان، از پدهای ساینده یا مواد شیمیایی خشن برای تمیز کردن آنها استفاده نکنید؛ در غیر این صورت، طلا از روی سطح بازتابنده پاک خواهد شد و کارایی دستگاه کاهش خواهد یافت. حتماً از حلالهای مجاز استفاده کنید و مراقب باشید.
یک نکته دیگر: طلا گرما را بازتاب میدهد، اما لامپها همچنان گرم میشوند. مطمئن شوید که سیستم خنککننده دستگاه شما کارایی لازم را داشته باشد؛ نمیخواهید گرمای بازتاب شده، لامپها را آسیب بزند.
بهترین نکته این است که این بازتابندهها قابل جایگزینی هستند؛ میتوانید آنها را در خطوط فرآیند خشک کردن فعلی خود استفاده کنید و بلافاصله زمان فرآیند را کاهش دهید؛ نیازی نیست منبع تغذیه دستگاه را تعویض کنید یا کل سیستم را اصلاح کنید.