چرا ما از فرهای معمولی برای فرآیند خشککردن استفاده نمیکنیم؟
دنیای نیمههادی، سرانجام در حال کنار گذاشتن فرهای قدیمی است. این کار منطقی است؛ زیرا با توجه به الزامات مربوط به مواد بدون سرب، روشهای قدیمی دیگر کارایی لازم را ندارند. ما به استفاده از فرهای مبتنی بر امواج مادون قرمز روی آوردهایم؛ زیرا این روش، نیاز به استفاده از حلالهای شیمیایی را از بین میبرد و از هدر رفتن انرژی برای گرم کردن هوای بیفایده جلوگیری میکند.
نحوه کارکرد این فرها:
فرهای معمولی، در واقع هوای داخل آنها را گرم میکنند؛ اما این روش کند و پرهزینه است. در حالی که فرهای مبتنی بر امواج مادون قرمز، از تابش الکترومغناطیسی برای گرم کردن سطح ویفر استفاده میکنند. انرژی مستقیماً وارد مولکولهای ویفر میشود و باعث لرزش آنها میگردد؛ در نتیجه مواد مذاب به سرعت از بین میروند.
پاکسازی فرآیند:
اگر از لحیمهای بدون سرب یا رزینهای سازگار با محیط زیست استفاده میکنید، باید مراقب باشید. این مواد نیاز به شرایط خاصی برای عملکرد صحیح دارند؛ اگر دمای مناسب حاصل نشود، ممکن است کل ویفر خراب شود.
در فرهای مبتنی بر امواج مادون قرمز، میتوانیم طول موج را تنظیم کنیم تا دقیقاً مطابق نیاز مواد باشد. همچنین، دیگر نیازی نیست نگران تأثیرات منفی فرهای گازی باشیم؛ چرا که در این فرها هیچ محصولات جانبی ناشی از احتراق وجود ندارد.
مشکلات احتمالی:
البته، این روش کاملاً بدون مشکل نیست؛ باید مراقب تراکم گرما باشیم. چون لامپهای مبتنی بر امواج مادون قرمز، انرژی زیادی را در فضای کوچکی تولید میکنند، اگر ویفر در جای مناسب قرار نگیرد، ممکن است نقاط گرم بیش از حدی ایجاد شود. برای رفع این مشکل، ما زمان زیادی را صرف تنظیم فاصلهها و استفاده از سیستمهای بازتابنده میکنیم تا گرما در سراسر سطح ویفر به طور یکنواخت توزیع شود.
نکته مهم:
اگر سیستم خنککننده شما ضعیف باشد، نمیتوانید از این افزایش ناگهانی دما جلوگیری کنید؛ در این صورت، استرس حرارتی ایجاد خواهد شد. نمیتوانید فرآیند خنککردن را نادیده بگیرید.
ما این سیستمها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین سادهای برای سیستمهای قدیمی باشند. کافی است آنها را به سیستم وصل کنید، شدت گرما را تنظیم کنید؛ در نتیجه، دیگر نیازی نیست انرژی زیادی را صرف گرم کردن فضای اطراف ویفر کنید.