در خط تولید، اگر دمای فر پخت حتی کمی تغییر کند، دیگر امکان بازگشت به وضعیت اولیه وجود ندارد. حتی تغییرات جزئی در دما در حین فرآیند پخت، میتواند منجر به از بین رفتن کل ویفر میکروLED شود. بنابراین، نیاز به هیتری وجود دارد که دمای سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کند؛ این کار باید در هر بار پخت و در طول هر شیفت انجام شود.
چه چیزهایی مهم هستند؟
ما از عناصر مادون قرمز با پاسخگویی سریع برای کنترل دما استفاده میکنیم؛ تا الگوی حرارتی در هر شیفت تکرار شود. یکنواختی دمای ویفر باید در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باشد؛ همچنین، منطقه گرمایشی باید به گونهای طراحی شود که در محیطهای پاک با سطح کیفیت ۱ تا ۱۰۰ کار کند، بدون ایجاد هیچ ذرهای در هوا.
چرا این روش برای میکروLED مناسب است؟
فرآیندهای تولید میکروLED، فرآیندهای لیتوگرافی و خشککردن را در محدودیتهای بسیار کمی انجام میدهند. باید مواد حلکننده کاملاً از بین بروند، اما فوتورزیست نیز باید شکل خود را حفظ کند. هیتر ما، مرحله پخت را تثبیت میکند؛ این کار باعث کاهش کارهای تکراری و اختلالات در فرآیند تولید میشود. در نتیجه، بازدهی اولیه بالاتر میشود، کنترل خطوط و فاصلهها بهتر میشود و مقدار ضایعات کاهش مییابد. مصرف انرژی نیز کنترل شده است؛ کنترل دقیق دما و کاهش هدررفت انرژی، هزینههای عملیاتی را کاهش میدهد، بدون اینکه سرعت تولید کاهش یابد.
جزئیاتی که اگر نادیده گرفته شوند، مشکلاتی ایجاد خواهند کرد…
این هیترها را میتوان در سیستمهای موجود، با استفاده از رابطهای مکانیکی و الکتریکی استاندارد، نصب کرد. اما تنظیمات مربوط به جهتگیری و جریان گاز باید متناسب با ساختار دستگاه باشد. برای تنظیم فرآیند تولید، نیاز به یک مرحله تنظیماتی وجود دارد. همچنین، اگر در محیطی با رطوبت بالا کار کنید، باید برای مدیریت آب مرطوب نیز برنامهریزی کنید؛ ما پیشاپیش تنظیمات مربوط به تخلیه هوای مرطوب را مشخص کردهایم.
وقتی که بازدهی تولید به دما بستگی دارد، کنترل دما ضروری است.
هیتر مربوط به فرآیند تولید را باید متناسب با فرآیند خاص انتخاب کرد؛ در این صورت، فرآیند تولید به خوبی انجام خواهد شد.