درست قبل از بستهبندی، هر مقدار رطوبتی که پس از تمیزکاری باقی میماند، فقط در جای خود باقی نمیماند؛ بلکه میتواند وارد مادهی پوششدهنده شود. این امر باعث تغییر در مقدار CTE میشود و در نهایت منجر به جدا شدن لایههای مختلف ماده میگردد. اگر همچنان از سیستمهای گرمایشی معمولی استفاده کنید، میدانید که مشکلاتی مانند تشکیل لکههای روی سطح و تولید ذرات ناخواسته وجود دارد؛ این مشکلات را نمیتوان نادیده گرفت. بنابراین، نیاز به فرآیندهای خشککردن و پردازش فوتورزیست که تمیز، قابل تکرار و دقیق باشند، وجود دارد.
آنچه واقعاً اهمیت دارد
ما از امواج نزدیک به بنفش با استفاده از فرستندههای کوارتزی استفاده میکنیم؛ این فرستندهها برای جذب رطوبت و حلالها تنظیم شدهاند. این روش باعث گرم شدن سریع سطح میشود، بدون اینکه مواد آلی آسیب ببینند. در سطح فعال، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین، سرعت تغییر دما نیز در محدوده ±۰.۵ درجه سانتیگراد بر ثانیه کنترل میشود. این سیستم برای اتاقهای تمیز در کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین ما میتوانیم اطمینان حاصل کنیم که تولید هیچ ذرهای با اندازه کمتر از ۰.۱ میکرومتر وجود ندارد. فرآیندهای خشککردن نیز در هر بار تکرار، یکنواخت باقی میمانند؛ بنابراین کنترل ابعاد مهم نیز در محدوده مشخصی انجام میشود.
چرا این روش در مرحلهی پیشبستهبندی مفید است
در فرآیند پیشبستهبندی، فرآیند به صورت ساده است: خشککردن ویفر، سپس پردازش و تثبیت فوتورزیست. امواج نزدیک به بنفش باعث کاهش مصرف انرژی، کاهش زمان لازم برای خشککردن ویفر، و کاهش رطوبت باقیمانده میشود. در نتیجه، چرخههای تولید سریعتر انجام میشود، رطوبت کمتری باقی میماند، و محصولات ناقص کمتری تولید میشود. از آنجایی که همین سیستم برای خشککردن و پردازش فوتورزیست استفاده میشود، تأیید کیفیت فرآیند سادهتر میشود و نیاز به قطعات یدکی کمتر میشود.
چیزهایی که باید از راه سخت یاد گرفت
امواج نزدیک به بنفش نیازمند استفاده از تجهیزات بازتابنده و تنظیم صحیح جهت ویفر هستند تا یکنواختی دما حفظ شود. فاصله بین فرستندهها و تراکم انرژی نیز باید متناسب با اندازه ویفر و لایههای موجود باشد؛ بنابراین ما این موارد را با هم تنظیم میکنیم. برای تنظیم سرعت و زمان لازم برای فرآیند، نیاز به یک آزمایش کوتاه وجود دارد؛ پس از آن، فرآیند با کمترین انحراف انجام میشود.