در کارخانههای تولید، فرآیند پختن ویفرها در دمای ۹۵ درجه سانتیگراد، بدون هیچ هشداری انجام میشود. نتیجه این کار، تولید ویفرهای با کیفیت پایین و نرخ بازدهی ضعیف است؛ چیزی که کسی از آن خواسته نکرده است. در فرآیند لیتوگرافی، دما تنها یک پارامتر نیست؛ بلکه خودِ فرآیند است.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
هیتر مورد استفاده، دارای گواهی CE است؛ ساختار آن بر اساس الکترومغناطیس موج کوتاه و ساختار حرارتی مبتنی بر کوارتز است. این هیتر، یکنواختی دما روی سطح ویفرها را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند. سیستم کنترلی نیز، حتی در صورت تغییر سریع باتها، دما را در محدوده مشخص شده نگه میدارد. بدنه این دستگاه برای استفاده در اتاقهای پاک با سطح تمیزی ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ همچنین، این دستگاه هیچ ذرهای تولید نمیکند. در نتیجه، فرآیند پختن ویفرها به طور پایدار انجام میشود و کیفیت ویفرها نیز در محدوده مطلوب باقی میماند.
چرا این دستگاه در کارخانههای واقعی موفق عمل میکند؟
این دستگاه، ۷ روز در هفته و ۲۴ ساعت در روز، بدون هیچ مشکلی کار میکند. عدم وجود توقفات غیرمنتظره، یک هدف طراحی شده است؛ این هدف با استفاده از قطعات با کیفیت بالا، سیستمهای اندازهگیری تکمیلی و برنامهریزی حرارتی مناسب، محقق میشود. نتیجه این کار، کاهش تعداد ویفرهای با کیفیت پایین، کنترل بهتر کیفیت ویفرها و زمانهای کاری قابل پیشبینی است. مصرف انرژی نیز به گونهای مدیریت میشود که سرعت کار دستگاه تحت تأثیر قرار نگیرد؛ در نتیجه، میزان تولید حفظ میشود و هزینه تولید هر ویفر نیز کاهش مییابد.
چه کارهایی باید انجام شود؟
نصب این دستگاه آسان است؛ اما هیتر نیاز به منبع تغذیه با کیفیت بالا دارد. تغییرات ولتاژ و مشکلات مربوط به سیستم زمین، میتوانند منجر به نوسانات کوچک در دما شوند؛ بنابراین، باید از منبع تغذیه فیلتر شده استفاده کرد و سلامت کانکتورها را نیز بررسی کرد. همچنین، باید ابعاد و رابطهای این دستگاه با ابزارهای موجود هماهنگ شود؛ سپس پروفایل پختن ویفرها ثابت میشود. پس از تنظیم، فرآیند پختن ویفرها به طور پایدار ادامه خواهد داشت.