مقابله با خرابی لامپها در فرآیند گرم کردن ویفرها در شرایط بار سنگین
وقتی که سیستمهای گرمایشی ویفرها را تا حد استحصال پیش میبریم، اوضاع پرخطر میشود. به طور خاص، لامپهای کوارتز ممکن است منفجر شوند. باید صادقانه بگوییم که وجود تکههای شیشهای و مواد شیمیایی در اطراف ویفرها، وضعیت را بسیار خطرناک میکند. یک انفجار کوچک میتواند باعث تخریب کل محموله ویفرها شود.
دقیقاً به همین دلیل است که ما سیستمهای مادون قرمز خود را به این شکل طراحی میکنیم.
مفهوم «فاصله ایمنی»
همواره تعادلی بین جریان گرما و خطرات وجود دارد. میدانم که تمایل داریم لامپها را در نزدیکترین فاصله ممکن قرار دهیم تا زمان راهاندازی سیستم کمتر شود. اما این کار باعث ایجاد فشار حرارتی زیاد بر روی لامپهای کوارتز میشود.
ما فاصله ایمنی حداقلی را بر اساس توان لامپ تعیین میکنیم. اگر لامپ منفجر شود، این فاصله باعث میشود تکههای شیشهای از روی ویفرها دور شوند.
جلوگیری از آلودگی
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده میتواند شوکهای ناشی از چرخههای سریع گرمایشی را تحمل کند. اما کار ما تمام نمیشود؛ ما از سپرهای حفاظتی نیز استفاده میکنیم. این سپرها باعث میشوند گرما در جای مناسب متمرکز شود؛ اما اگر لامپ خراب شود، تکههای شیشهای درون بدنه لامپ باقی میمانند. در نتیجه، شما گرمای مورد نیاز را خواهید داشت و ویفرهایتان نیز تمیز خواهند ماند.
تعادل بین توان و جریان هوا
لامپهای با توان بالا، سریع عمل میکنند؛ اما این لامپها فشار زیادی بر سیستم تأمین انرژی و سیستم خنککننده وارد میکنند. اگر سیستم خنککننده کافی نباشد، گرما در اطراف لامپها تجمع میکند؛ این امر منجر به خرابی زودهنگام لامپها میشود. برای جلوگیری از این مشکل، باید توان لامپ را با جریان هوای موجود در سیستم متعادل کرد. فاصلههای لازم باید دقیق باشد؛ در غیر این صورت، سیستم دچار مشکل خواهد شد.