در فرآیند لیتوگرافی، تغییرات جزئی در دمای پخت، کنترل ضخامت خطوط روی ویفر را مختل میکند؛ همچنین، پخت با دمای بالا در یک نقطه و دمای پایین در نقطه دیگر، منجر به خرابی فوتورزیست میشود. خشک کردن ویفر کار سادهای نیست؛ بلکه یک فاکتور مهم برای کنترل کیفیت تولید است. ما لامپهای مورد استفاده برای خشک کردن ویفر را طوری طراحی کردهایم که بتوانیم این فرآیند را تحت کنترل نگه داریم، حتی در شرایط محدودیتهای بودجهای.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟ این لامپها به گونهای طراحی شدهاند که یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کنند؛ به این ترتیب، فوتورزیست در هر بار پخت، دمای یکسانی را تجربه میکند. الگوی امواج مادون قرمز کوتاهموج، به سرعت تغییر کرده و سریعاً به حالت عادی برمیگردد؛ بنابراین، زمان پخت کنترل شده و از افزایش بیش از حد دما جلوگیری میشود. پوشش کوارتزی این لامپها برای استفاده در محیطهای پاکسازیشده با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، ساختار فیلامنت و ساختارهای حمایتی آن، باعث میشود که تولید ذرات در حین کار به حداقل برسد. خروجی این لامپها در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، در محدودههای مشخصی ثابت باقی میماند؛ همچنین، اندازه این لامپها با استانداردهای لامپهای مورد استفاده در ماشینآلات پخت هماهنگ است.
دلیل اینکه این لامپها برای ماشینآلات پخت مناسب هستند، این است که نیاز به دمای قابل پیشبینی در هر بار پخت وجود دارد؛ این لامپها باعث میشوند که نواحی داغ یکنواخت بمانند، که این امر منجر به کاهش نقصهای ناشی از تفاوتهای دمایی و بهبود کنترل ابعاد میشود. سرعت افزایش دما نیز باعث میشود که مراحل پخت کوتاهتر شود، بدون اینکه یکنواختی دما به خطر بیفتد؛ این امر منجر به تولید تعداد بیشتری ویفر در ساعت میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا سیستم زمان کمتری را صرف حفظ دما میکند. همچنین، با توجه به قابلیت تحمل چرخههای حرارتی مکرر، زمان تعویض لامپها نیز طولانیتر میشود؛ این امر منجر به کاهش نیاز به لامپهای یدکی و کاهش زمان تعمیرات میشود.
چند نکته عملی: این لامپها برای کنترل دما طراحی شدهاند، اما به جریان هوا و جهت نصب حساس هستند؛ بنابراین، باید آنها را با فاصله مشخصی نصب کرد و از هولدرهای مناسب استفاده کرد؛ در غیر این صورت، ریسک ایجاد نواحی داغ و استرس مکانیکی وجود دارد. همچنین، باید ولتاژ و نوع کانکتور ماشینآلات پخت را با لامپها هماهنگ کرد تا هماهنگی در جهت پینها برقرار شود و از ایجاد جریان الکتریکی جلوگیری شود. پس از نصب، باید یک آزمایش کوتاه انجام داد تا اطمینان حاصل شود که الگوی دمایی مطابق با استانداردهای فرآیند تولید است؛ سپس میتوان از این لامپها در تولید اصلی استفاده کرد.