چرا ما از هوای داغ به جای لامپهای مادون قرمز برای فرآیندهای پردازش عمیق استفاده کردیم؟
اگر هنوز از هوای داغ برای گرم کردن ویفرها استفاده میکنید، در واقع در حال انتظار هستید.
فکر کنید: هوای داغ در واقع نوعی انتقال حرارت توسط جریان هواست. شما هوا را گرم میکنید، سپس هوا سطح ویفر را گرم میکند؛ اما شما مجبورید مدت زمان زیادی را صرف انتظار برای انتقال حرارت کنید. این فرآیند بسیار آهسته است.
استفاده از لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا، کل اوضاع را تغییر میدهد. به جای گرم کردن کل اتاق، شما تابش الکترومغناطیسی را مستقیماً به سمت هدف میفرستید؛ این کار در سرعت نور انجام میشود.
این کار بلافاصله انجام میشود.
وقتی زمان لازم برای گرم کردن ویفرها کاهش مییابد، عملکرد شما بهبود مییابد. اگر بتوانید ۳۰ ثانیه از زمان هر چرخه صرفهجویی کنید، نه تنها زمان را صرفهجویی کردهاید، بلکه در پایان شیفت کاری، محصولات بیشتری تولید خواهید کرد.
اما نمیتوانید فقط یک لامپ هالوژنی معمولی را در آنجا استفاده کنید.
در محیطی که پر از گازهای خورنده است، لامپهای معمولی کار خود را انجام نخواهند داد. ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا نمیخواهیم هیچ ناخالصی از شیشه به سطح ویفر منتقل شود. یک ناخالصی کوچک نیز میتواند باعث از بین رفتن محصولات شود.
اما جادوی واقعی، در تراکم توان است؛ ما مقدار زیادی توان را در فضای کوچکی جای میدهیم. این کار به شما امکان میدهد تا دمای مورد نظر را بلافاصله به دست آورید. دیگر نیازی نیست منتظر باشید تا هوا در اتاق پخش شود؛ شما میتوانید حرارت را دقیقاً در جایی که نیاز دارید، تولید کنید.
البته، همه چیز مثل جادو نیست؛ چیزهایی وجود دارد که باید به آنها توجه کنید.
مادون قرمز، تابشی جهتدار است؛ این تابش مانند هوا نمیتواند از اطراف اجسام عبور کند؛ بنابراین نیاز به خط دید صاف دارد. اگر موقعیت لامپها مناسب نباشد، نقاط سردی روی ویفر ایجاد خواهد شد. بنابراین باید موقعیت لامپها را به دقت انتخاب کنید.
همچنین، باید مراقب باشید؛ لامپهای با توان بالا بسیار داغ میشوند؛ به ویژه در قسمتهای اتصالات. اگر سیستمهای سرمایشی شما مناسب نباشد، اتصالات شما خراب خواهد شد.
اگر تجهیزات را به درستی انتخاب کنید، مشکلی نخواهید داشت.