چرا استفاده از حرارتدهی مادون قرمز جهتی، راه مناسبی برای استفاده در اتاقهای تمیز است؟
اکثر دستگاههای گرمایشی، با گرم کردن هوای اطراف خود، آنچه را که قرار است گرم شود، گرم میکنند. اما در اتاقهای تمیز مربوط به نیمههادیها، این روش میتواند مشکلات زیادی ایجاد کند.
وقتی کل داخل دستگاه گرم میشود، این گرما در جای خود باقی نمیماند؛ بلکه جابجا میشود. در نتیجه، بدنه دستگاه بسیار داغ میشود؛ این موضوع برای اپراتورها خطرناک است. همچنین، سنسورهای حساس دستگاه نیز به دلیل گرمای بالا، دچار اختلال میشوند.
چگونه این مشکل را حل میکنیم؟
ما از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم. میتوان آنها را مانند چراغ قوه در نظر گرفت، اما با تفاوتی که این لامپها گرما تولید میکنند.
تشعشعات این لامپها در خط مستقیم حرکت میکنند؛ بنابراین هوای اطراف را تحت تأثیر قرار نمیدهند. فقط به اشیاءی که این تشعشعات را جذب میکنند، تأثیر میگذارند. با تنظیم فاصله کانونی، میتوانیم این انرژی را مستقیماً به سمت ویفر یا سطح مورد نظر هدایت کنیم.
انرژی به هدف مورد نظر میرسد و سپس متوقف میشود. به این ترتیب، دیوارههای داخلی دستگاه سرد باقی میمانند.
جزئیات مربوط به سختافزار
برای دستیابی به تراکم گرمایی مورد نیاز، بدون اینکه بدنه دستگاه ذوب شود، از لامپهایی با شدت بالا و دورههای کوتاه استفاده میکنیم. از پوششهای شیشهای کوارتزی نیز استفاده میکنیم تا لامپها بتوانند به سرعت به دمای مورد نیاز برسند.
همچنین، از بازتابندههای خاصی برای حفظ تمرکز پرتوهای گرما استفاده میکنیم؛ این کار مانع از سرایت گرما به سایر بخشهای دستگاه میشود.
یک هشدار: حتماً موقعیت لنزها را دقیق بررسی کنید؛ اگر لنزها حتی چند درجه از موقعیت صحیح خارج شوند، دیگر نمیتوانید ویفر را گرم کنید؛ در عوض، سیمها و بدنه دستگاه ذوب خواهند شد.
پیامدهای این روش برای استفاده روزمره
بهترین نکته این است که دیگر نیازی به استفاده از فنهای خنککننده بزرگ نیست. این فنها نه تنها صدا زیادی تولید میکنند، بلکه باعث ایجاد ذراتی میشوند که در اتاقهای تمیز مطلوب نیستند.
همچنین، زمان گرم شدن دستگاه کوتاهتر میشود و بدنه دستگاه دیگر دست شما را نمیسوزاند.
یک هشدار دیگر: مطمئن شوید که منبع تغذیه دستگاه قادر به تحمل جریان بالایی که در هنگام روشن شدن لامپها ایجاد میشود، باشد. اگر سیمهای دستگاه خیلی نازک باشند، ولتاژ کاهش خواهد یافت و قابلیت کنترل دمای دستگاه از بین خواهد رفت.