متوقف کردن مشکلات ناشی از قطعی سیمها: استفاده از لامپهای مادون قرمز ضدآب در خطوط شستشوی ویفرها
اگر تجربه کار در خطوط شستشوی ویفرها را داشته باشید، میدانید که این کار چقدر پرمشکل است. شما باید با مشکلات مداومی مبارزه کنید؛ یعنی باید ویفرها را به سرعت گرم کنید، اما عناصر گرمایشی در میان بخارات رطوبت و مواد شیمیایی قرار دارند. این وضعیت منجر به بروز مشکلات جدی میشود. معمولاً این مشکلات شامل قطعی سیمها یا خرابی لامپها میشود.
به همین دلیل، لامپهای مادون قرمزی که ما ساختهایم، کاملاً ضدآب هستند. دیگر نیازی نیست هر بار که فرآیند شستشو شروع میشود، نگران باشید.
چرا از لامپهای مادون قرمز کوتاهامواج استفاده میکنیم؟
فرآیندهای گرمایشی سنتی بسیار آهسته هستند؛ زیرا زمان زیادی صرف گرم کردن هوا قبل از تماس آن با ویفر میشود. ما از لامپهای مادون قرمز کوتاهامواج استفاده میکنیم، زیرا این لامپها اجازه نمیدهند انرژی از طریق هوا منتقل شود؛ انرژی مستقیماً از لامپ به ویفر منتقل میشود. این روش بسیار سریع است.
علاوه بر این، از آنجایی که این لامپها مستقیماً به کنترلر گرمایشی متصل هستند، دیگر نیازی نیست حدس بزنید؛ میتوانید در لحظه ببینید که گرما چگونه به ویفر منتقل میشود. اگر میخواهید یک خط تولید پیشرفته داشته باشید، این تنها راه برای درک وضعیت واقعی است.
مشکلات مربوط به استفاده در محیطهای مرطوب
اکثر لامپهای مادون قرمز در مناطق شستشو خراب میشوند؛ زیرا سیلهای موجود در لامپها نشت میکنند. ما این مشکل را با استفاده از ظروف ضدآب و سیلهای محکم برطرف میکنیم.
اما مشکل اینجاست که نمیتوانید فقط سیلها را محکم کنید و کار را تمام کنید؛ زیرا کوارتز در هنگام گرم شدن منبسط میشود. اگر ظرف لامپ خیلی سفت باشد، لوله لامپ خراب خواهد شد. بنابراین باید تعادل مناسبی بین «ضدآب بودن» و «وجود فضای کافی برای تنفس» برقرار کرد.
نکاتی که باید در نظر بگیرید
اگر از لامپهای مادون قرمز با تراکم بالا استفاده کنید، زمان گرم شدن ویفرها بسیار کم خواهد بود. اما مراقب باشید؛ چرا که این میزان گرما در فضای کوچک، فشار زیادی بر سیستم تأمین انرژی وارد میکند.
اگر چندین لامپ ۲ کیلوواتی را در یک مدول کوچک قرار دهید، فراموش نکنید که فنهای خنککننده و سیستمهای خنککننده را نیز در نظر بگیرید؛ در غیر این صورت، الکترونیکهای موجود در نزدیکی لامپها خراب خواهند شد.
خبر خوب این است که این سیستمها میتوانند مستقیماً به PLC شما متصل شوند؛ این روش، جایگزین مناسبی برای آن گرمکنهای قدیمی و کند است. دیگر نیازی نیست حدس بزنید؛ میتوانید دادههای واقعی را مشاهده کنید.