クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし、クラス100の環境でシリコンウェーハを加熱する場合、その恐ろしさはご存知でしょう。ほんの微細なほこりの粒——たった1マイクロメートル程度——があるだけで、作業したウェーハ全体が無用のものになってしまいます。 問題は、一般的な加熱素子...

なぜ、MEMSウエハーに熱風を当てるのをやめるべきか もしMEMS製造工場で働いたことがあれば、その手順はよくわかるでしょう。湿式エッチングや洗浄を終えたら、次に必要なのは水分を取り除くことです。従来の工場では、単純に熱風をウエハーに当てて乾燥させていました。これは至る所で見られる光景です。 しか...

熱と戦うのをやめよう：半導体パッケージングにおけるIR対策のより良い方法 もし、半導体センサーのパッケージングに携わったことがあるなら、熱対策の難しさをご存知でしょう。それは本当に苦痛な問題です。 一般的な赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出するタイプのものです。つまり、360度に熱が広がります...

クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つために クラス100のクリーンルームを運用しているとき、目に見えないものとの戦いが絶え間なく続きます。わずか1マイクロメートルのほこりでも、ウエハー全体が台無しになってしまいます。本当に厄介です。そして、通常、その原因となるのは予想外のものであり、それは...

IRシステムを使った水素センサーの製造 水素センサーを作る際には、熱硬化処理や膜の形成が正確に行われなければなりません。しかし正直なところ、従来の対流式オーブンは非効率的です。速度が遅く、サイズも大きく、周囲のすべてを同時に加熱してしまいます。 そのため、私たちは短波長の赤外線（IR）システムを採...