ファブヒーター用電源ケーブル

ライン上では手順はご存じの通りです。ウェハーの乾燥、ソフトベーク、またはパッケージ硬化における半度の温度変動が、クリティカルな寸法の変化や低k膜中の水分トラップを引き起こす可能性があります。ヒーターパワーケーブルは単なる付属品ではなく、熱予算の最初のリンクです。そのリンクがずれると、均一性が乱れ、...