なぜ、ヒートプロブレムを解決するために金が使われるのか？ 半導体ウェーハを加工するとき、実際には無駄なエネルギーと戦っていることになります。表面に熱が届くことは必要ですが、多くの場合、その熱は装置のケース内に逃げてしまいます。これはエネルギーの無駄遣いであり、ハードウェアにとっても悩みの種です。...

広々とした倉庫に入って、従来のヒーターがどのように機能するかを見てみましょう。従来のヒーターは、空気の温度を上げることに力を注ぎます。そのため、床にいる人が温かさを感じる前に、空っぽの通路や高い天井が先に温まってしまいます。このような状況では、エネルギーの消費が増え、機器にも負担がかかります。そし...

ライン上では、200mmのウェーハがフォトレジストを塗布されるのを待っている。ベイク処理は任意のものではなく、仕様上必須の工程だ。温度がわずかに変動しても、ウェーハの寸法に影響が出てしまう。そうなると製造プロセスは停止してしまう。私たちは、このような問題を防ぐために、赤外線ランプを用いてエピタキシ...