UHP 超高純度 ヒーターランプ

なぜ、ディーププロセッシングにおいて熱風の代わりにIRランプを使用するのか？ もし依然としてウェーハの加熱に熱風を使っているのであれば、実質的には時間を無駄にしていることになります。 考えてみてください。熱風というのは単なる対流現象に過ぎません。空気を加熱し、その空気が基板を加熱するのですが、熱が...