半導体用クォーツハロゲンヒーター

300mmラインにおいて、ソフトベイク時の2°Cの温度変動は、単なるCDのずれというだけではありません。それは、無駄にウェーハが使用されることを意味します。そのため、ファブがフル稼働している状態でも、プロセス範囲内で一定の熱挙動を維持できるように、クォーツ製のハロゲンヒーターを開発しました。 重要...