クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つために
クラス100のクリーンルームを運用しているとき、目に見えないものとの戦いが絶え間なく続きます。わずか1マイクロメートルのほこりでも、ウエハー全体が台無しになってしまいます。本当に厄介です。そして、通常、その原因となるのは予想外のものであり、それは照明器具自体です。
もし照明器具からガスが放出されたり、微小な粒子が飛び散ったりすると、それによって汚染が引き起こされてしまいます。だからこそ、私たちはIRランプに高純度の合成石英を使用しているのです。
材料が重要な理由
一般的なガラスや安価な石英では、高温に耐えられません。強い熱負荷によって破壊されたり、剥がれ落ちたりしてしまいます。これは良くありません。
私たちは合成石英を使用しているのは、それが耐久性に優れているからです。化学的に侵食されることもなく、剥がれ落ちることもありません。また、石英製のケースをしっかりと溶接しておくことで、ごみが隠れるような微細な隙間をなくし、急速な熱処理中でもウエハーの表面を清潔に保つことができます。
適切な温度の設定
ウエハー加工用のツールは、温度上昇の速度に敏感です。適切な温度を得るために、フィラメントの直径や電圧を調整してスペクトル出力を最適化します。
ポイントは、短波長のIR光は長波長のIR光よりもずっと速くウエハー表面に到達するということです。これにより、ウエハー全体に均一で安定した温度分布が得られます。
しかし、電力に関しては注意が必要です。これらのランプは非常に高温になります。電圧を過剰に上げて目標温度を強制的に設定しようとすると、フィラメントが早く壊れてしまいます。バランスを取る必要があります。ワット数とツールの冷却能力を考慮して、ランプの端が壊れないようにしなければなりません。
簡単に交換できるように設計されている
私たちは、これらのランプを簡単に交換できるように設計しました。特別な手間は必要ありません。コネクタは、摩擦によるほこりの発生を防ぐために特別に設計されています。交換時に最も避けたいのは、空気中にさらなる粒子が混入することです。
ランプの位置は正確でなければなりません。もし少しでも位置がずれると、IR光が正しい場所に当たらず、ウエハーに熱点ができてしまいます。そのため、許容範囲を厳密に管理し、ランプが正確な位置に収まるようにしています。
最後に、技術者には注意してもらうよう伝えてください。必ずフリーラン式の布やIPAを使用してください。石英表面に指紋がつくと、高温で永久的なダメージが残り、熱分布が乱れてしまいます。修正するのは大変なので、できるだけ避けるべきです。