
为何我们使用黄金来解决热量问题
在加工半导体晶圆的过程中,实际上就是在与能量浪费作斗争。虽然我们需要让热量作用于晶圆表面,但很多时候,这些热量反而会散失到机器的框架中。这不仅浪费了能源,还会给硬件带来麻烦。
这时,涂有黄金的反射器就派上用场了。
神秘之处在于其光泽
我们选择黄金,是因为它能够有效反射长波红外线能量。而铝或不锈钢则无法做到这一点。
可以把黄金想象成一种“热能反射镜”:它能让热量直接向前传播,而不是让热量渗入设备框架中。这样一来,热量就能更集中地作用于晶圆上。更多的热量传递到晶圆上,同时机器的温度也能保持较低。这虽然是简单的物理原理,但却能带来巨大的效果。
当然,也有缺点
不过,黄金的质地很软。如果使用研磨剂清洁,或者腔体变得脏污,那么黄金层就会被刮伤。一旦表面出现凹痕或划痕,效率就会下降。因此,必须严格注意其清洁方式,否则就只能白白花费昂贵的成本来修复它。
在实际应用中的效果
在高效率的生产线上,这种技术的优势最为明显。因为每秒都至关重要,所以通过聚焦热量,可以更快地达到所需的工艺温度。这样一来,就无需再等待热量上升了。
这种技术可以直接连接到现有的电源系统中,但也不能只是“设置好就不管了”。还需要调整PID控制器。因为现在的热量响应速度如此之快,如果仍然使用旧的系统设置,很容易导致温度过高,从而损坏晶圆。稍加调整,就能正常使用了。