클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 청정실을 운영할 때는 보이지 않는 요소들과 끊임없이 싸워야 합니다. 보이지도 않는 1마이크론짜리 먼지 한 알만으로도 웨이퍼 전체가 망가질 수 있습니다. 정말 짜증나는 일이죠. 그리고 대부분의 경우 문제의 원인은 예상치 못한 곳에 있습니다. 바로 가열 장치입니다.
만약 램프에서 가스가 배출되거나 작은 입자들이 나온다면, 그것은 곧 오염을 초래하는 것과 같습니다. 그래서 우리는 적외선 램프에 고순도의 인공 석영을 사용합니다.
재료의 중요성
대부분의 유리나 저품질 석영은 열에 견디지 못합니다. 강한 열에 노출되면 파괴되거나 부서집니다. 이는 좋지 않습니다.
우리는 인공 석영을 사용하는데, 그 이유는 내구성이 뛰어나기 때문입니다. 화학적으로 파괴되지도 않고, 부서지지도 않습니다. 또한 석영 외피를 단단히 밀봉하여 먼지가 숨을 공간을 없앱니다. 이렇게 하면 빠른 열처리 과정에서도 웨이퍼 표면이 깨끗하게 유지됩니다.
적절한 열량 조절
웨이퍼 처리 장비는 온도 상승 속도에 매우 민감합니다. 이를 위해 필라멘트의 직경과 전압을 조절하여 적절한 스펙트럼 출력을 얻습니다.
비결은 짧은 파장의 적외선이 긴 파장보다 훨씬 빠르게 웨이퍼 표면에 도달한다는 점입니다. 이로 인해 전체 기판에 걸쳐 더욱 일관된 열 분포가 가능해집니다.
하지만 전력 측면에서는 주의가 필요합니다. 이러한 램프들은 매우 뜨거워집니다. 전압을 너무 높게 설정하면 필라멘트가 더 빨리 손상됩니다. 따라서 와트수와 장비의 냉각 능력을 잘 조절해야 합니다.
번거로움 없이 램프 교체하기
우리는 이 램프들을 간편하게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 복잡한 과정이 필요하지 않습니다. 커넥터는 마찰로 인한 먼지 발생을 방지하도록 특별히 설계되었습니다. 교체할 때는 공기 중에 먼지가 더 많아지는 것을 막아야 합니다.
램프는 정확한 위치에 있어야 합니다. 조금이라도 위치가 틀리면 적외선이 제대로 닿지 않아 웨이퍼에 열점이 생깁니다. 그래서 우리는 허용 오차를 최소화하여 램프가 정확한 위치에 오도록 합니다.
마지막으로, 기술자들에게 주의를 당부합니다. 반드시 먼지가 없는 천과 IPA만을 사용해야 합니다. 석영 표면에 지문이 남으면 고온에서 남아 열 분포를 망칠 수 있습니다. 이는 수리하기 어렵으므로, 사전에 예방하는 것이 좋습니다.