고부하 상태에서의 웨이퍼 가열 시 발생하는 램프 고장 문제 해결하기
웨이퍼 가열 시스템을 최대한 활용하려 할 때는 위험이 따릅니다. 특히 석영 램프는 파손될 수 있습니다. 솔직히 말해서, 램프가 파손되면 큰 문제가 됩니다. 단순히 가동시간만 줄어드는 것이 아니라, 유리 조각과 화학물질들이 웨이퍼 위로 흩뿌려집니다. 한 번만 파손되어도 전체 제품군이 폐기될 수 있습니다.
바로 이런 이유로 우리는 적외선 시스템을 이런 방식으로 설계합니다.
“안전 거리”의 원리
열의 흐름과 위험 사이에는 항상 균형이 필요합니다. 가동 시간을 줄이기 위해 램프를 가능한 한 가까이 배치하고 싶은 유혹이 있지만, 그렇게 하면 석영 램프에 엄청난 열應력이 가해집니다.
우리는 램프의 와트수에 따라 최소 안전 거리를 설정합니다. 간단합니다. 램프가 파손될 경우, 이 안전 거리 덕분에 파편들이 웨이퍼 위로 날아가는 것을 막을 수 있습니다.
오염 방지
우리는 고순도의 융합 석영을 사용합니다. 이 물질은 급격한 온도 변화에도 파손되지 않습니다.
하지만 여기서 그치지 않습니다. 보호용 커버도 추가합니다. 이 커버들은 열을 필요한 곳에 집중시켜 주며, 램프가 파손될 경우 파편들이 내부에 갇히도록 합니다. 그렇게 하면 원하는 열을 얻으면서도 웨이퍼는 깨끗하게 유지됩니다.
균형 유지
고출력의 단파 램프는 매우 빠릅니다. 하지만 이러한 램프들은 전력 공급 및 냉각 시스템에 큰 부담을 줍니다.
문제는 냉각이 제대로 이루어지지 않으면 소켓 주변에 열이 쌓여서 필라멘트가 조기에 파손된다는 것입니다. 이는 연쇄적인 문제를 일으킬 수 있습니다.
램프가 과열되거나 파손되는 것을 막으려면, 전력 공급과 케이스 내부의 공기 흐름을 적절히 조절해야 합니다. 충분한 공간을 확보해 주면 시스템이 오래 작동할 수 있습니다.