晶圆固化灯用反射器
为什么镀金反射器对晶圆固化过程如此重要 在晶圆固化过程中,实际上是在管理有限的能量资源。大多数人仍然使用普通的铝制反射器,但这样做有个问题:大量热量会泄漏到机器的机壳中,这无疑是一种能源浪费。
因此,我们选择使用黄金作为反射材料。虽然听起来很奢华,但实际上这是非常实用的选择。黄金能够将近红外光精确...
红外灯用铝制反射器
保护您的晶圆:关于红外灯故障的真相 说实话,红外灯发生故障简直就是一场噩梦。前一秒一切正常,下一秒石英管就爆裂了。此时,各种颗粒和化学物质会溅到晶圆上,导致整批产品报废,生产线也必须停止运转。这真是令人头疼的问题。
正因如此,我们才会以特定的方式设计加热系统。
为什么铝制反射器如此重要 你可能会认...
带金色反射器的红外线灯泡
在晶圆厂车间,你很快就会明白,光刻胶烘烤过程中温度漂移半度,都会导致线宽偏差,进而报废大量晶圆。设备运行时间和重复性不是“可有可无”的,它们就是工艺的核心。
实际关键点 我们采用带金反射器的红外灯泡,提供稳定、定向的热量,并实现严格的光谱控制。其结果是在烘烤表面实现晶圆级温度均匀性,控制在...