저렴한 웨이퍼 건조용 램프 전구

리소그래피 공정에서는, 약한 열처리 온도 변동이라도 회로선의 굵기 제어에 심각한 영향을 미칩니다. 반면, 한 부분은 과열되고 다른 부분은 저온 상태가 되는 경우에는 포토레지스트가 손상될 가능성이 높습니다. 웨이퍼 건조는 단순한 부수적인 작업이 아니라, 생산 효율을 결...