반도체 청정실용 트롤리 히터
반도체 운반대용 히터를 안전하게 보호하는 방법
클린룸에서는 단 한 번의 전기 누설도 치명적인 문제가 됩니다. 아주 작은 스파크나 전류 누설만으로도 몇 초 만에 웨이퍼들이 모두 파괴될 수 있습니다. 그래서 우리는 히터를 설계할 때, 케이스로 들어가는 전류가 전혀 없도록...
클린룸용 적외선 히터
왜 방향성 적외선 가열이 클린룸에 적합한지
대부분의 히터는 주변 공기를 따뜻하게 함으로써 작동합니다. 그렇게 되면 결국 가열하고자 하는 물체도 따뜻해집니다. 반도체 클린룸에서는 이런 방식이 문제를 야기합니다.
만약 기계 내부 전체를 가열한다면, 그 열은 그 자리에 머...
클린룸 오븐 적외선 히터
안전을 위해: 화학 처리 구역에서의 적외선 히터 사용
솔직히 말해서, 가연성 세척제가 가득한 공기 속에서 클린룸 오븐을 사용하는 것은 매우 위험한 일입니다. 작은 불꽃 하나나 뜨거운 표면이 증기와 접촉하기만 해도 재앙이 발생할 수 있습니다. 이는 정말 위험한 상황입니...
클린룸 장비 업그레이드 공장
왜 모든 조명관을 반드시 테스트해야 하는가? (그리고 왜 이것이 중요한지) 반도체 제조 공장에서는, 아주 작은 전기 방전이나 누설 전류조차도 큰 문제가 됩니다. 그로 인해 한 번에 생산된 웨이퍼들이 모두 파괴될 수 있습니다. 그래서 우리는 클린룸의 조명에 대해 ‘군단...
클린룸 벤치 적외선 램프
악몽을 막아내세요: 램프 파손으로부터 웨이퍼를 안전하게 보호하기
고부하의 웨이퍼 생산을 하고 있다면, 램프가 파손되는 것이 단순한 문제가 아니라 재앙적인 상황임을 이미 알고 있을 것입니다.
하나의 석영관이 파손되면, 갑자기 유리 조각들과 미세한 입자들이 웨이퍼 위로...