
为什么镀金反射器对晶圆固化过程如此重要
在晶圆固化过程中,实际上是在管理有限的能量资源。大多数人仍然使用普通的铝制反射器,但这样做有个问题:大量热量会泄漏到机器的机壳中,这无疑是一种能源浪费。
因此,我们选择使用黄金作为反射材料。虽然听起来很奢华,但实际上这是非常实用的选择。黄金能够将近红外光精确地反射回所需的位置——也就是直接照射到晶圆上。这样一来,就可以避免将能量浪费在加热工厂地板上,从而让每一瓦特的能量都能得到有效利用。这样就可以在不大幅增加能耗的情况下达到所需的温度。
反射器的形状也很重要。
如果反射器的曲率有偏差,那么晶圆的边缘就会出现“冷点”,甚至会导致晶圆变形。我们使用抛物线形或椭圆形的反射器,这样才能确保热量能够集中地传递到晶圆上,从而使整个晶圆上的温度分布更加均匀。这样就不会出现不均匀的固化现象了。
不过,黄金虽然性能优异,但却十分脆弱。请千万不要用粗糙的磨料或强力化学物质来擦拭这些反射器,否则黄金层就会被刮掉,从而导致效率急剧下降。最好使用经过认证的溶剂,并以轻柔的方式进行处理。
还有一点需要注意的是:虽然黄金可以反射热量,但灯管本身仍然会发热。因此,必须确保冷却系统能够正常工作,避免反射的热量损坏灯管。
最棒的是,这些镀金反射器可以直接替换现有的反射器。只要将其插入现有的固化系统中,就可以立即减少处理时间——无需拆掉现有的电源或对整个系统进行大规模改造。