大多数普通的加热元件都是向各个方向散发热量。而在空间有限的半导体加工设备中，这种情况简直就是灾难。这样一来，热量就会积聚在设备的内部结构中。一旦内部温度过高到无法触摸，不仅会带来热稳定性问题，还会存在安全隐患。
为了解决这个问题，我们会将高强度的红外灯与特制的不锈钢外壳结合使用。
让热量精准地传递到需要的地方
定向加热并不仅仅取决于灯本身，更重要的是反射器和外壳的协同作用。我们使用经过抛光处理的不锈钢或铝材来让红外光直线照射到晶圆或基板上。通过遮挡设备的侧面和背面，我们可以防止热量扩散到设备的框架中。这样，设备的外壳就能保持低温，而热量则能准确传递到所需的位置，不会扩散到其他地方。
关于材料的选择
我们选择不锈钢作为外壳材料，因为它能够承受高温，尤其是在恶劣的化学环境中。即使在半导体加工过程中产生的巨大热负荷下，它也不会变形。不过，真正的关键在于外壳的几何结构——外壳必须能够精确地固定住灯泡。如果反射器的位置有哪怕几毫米的偏差，那么工件上就会出现局部过热的情况，那就麻烦了。
需要注意的一些事项
这种设计有个缺点：它需要更多的空间。你不能直接把它插入为普通加热线圈设计的空间里。你必须考虑到反射器的深度，并留出一定的空气间隙，以避免外壳过热。另外，建议使用耐高温的导线来连接电路。即使有外壳保护，灯泡头部仍然可能因为高温而损坏。最后，别忘了通风问题。如果阻碍了空气流动，灯泡的寿命就会大大缩短。确保空气能够正常流通，这样灯泡才能长久使用。