บนเส้นทางการผลิต แผ่นวีเซอร์ขนาด 200 มิลลิเมตรกำลังรอคิวเพื่อได้รับสารโฟโตเรซิสต์ การอบแผ่นวีเซอร์นั้นเป็นสิ่งจำเป็นตามมาตรฐานที่กำหนดไว้ หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงเพียงเล็กน้อย ขนาดของแผ่นวีเซอร์ก็จะเปลี่ยนไป ซึ่งจะทำให้กระบวนการผลิตล้มเหลว เราจึงออกแบบระบบการให้ความร้อนโดยใช้หลอดไฟอินฟราเรด เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดความเสียหายตั้งแต่ต้น
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิคคือ เราใช้หลอดไฟอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น (NIR) เพื่อให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็วและตรงจุด แสงอินฟราเรดสามารถเข้าไปในสารซิลิคอนและฟิล์มบางๆ ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ระบบนี้สามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในแผ่นวีเซอร์ไว้ได้ที่ ±0.1°C และความสม่ำเสมอระหว่างการผลิตต่างๆ ก็อยู่ที่ ±0.2°C เท่านั้น
เวลาที่ใช้ในการให้ความร้อนอยู่ที่น้อยกว่า 50 มิลลิวินาที ดังนั้นจึงสามารถรักษาอุณหภูมิไว้ได้อย่างแม่นยำในช่วงการอบแผ่นวีเซอร์ นอกจากนี้ ระบบยังถูกออกแบบมาให้ทำงานในสภาพแวดล้อมที่สะอาด โดยสามารถทำงานได้ในระดับ Class 1–100 โดยไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ ออกมาเลย และตัวหลอดไฟก็ทำจากวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูง เพื่อลดการปล่อยก๊าซออกมา
เหตุผลที่ระบบนี้ใช้งานได้ดีในสถานการณ์ที่จำเป็นคือ ในกระบวนการลิโทกราฟี จำเป็นต้องมีการอบแผ่นวีเซอร์อย่างสม่ำเสมอ เพื่อควบคุมความหนาของสารโฟโตเรซิสต์และกำจัดคลื่นสะท้อน ในกระบวนการบรรจุภัณฑ์ จำเป็นต้องมีการอบแผ่นวีเซอร์เพื่อให้เกิดการเชื่อมโยงระหว่างส่วนต่างๆ โดยไม่ทำให้วัสดุใต้แผ่นวีเซอร์ร้อนเกินไป ส่วนในกระบวนการทำความสะอาดและการอบแห้ง จำเป็นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิเพื่อขจัดสารละลายออกไป โดยไม่ทำให้เกิดรอยแตกบนแผ่นวีเซอร์
หลอดไฟเหล่านี้ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพ และยังใช้พลังงานน้อยกว่าเตาอบแบบการไหลเวียนอากาศอีกด้วย นอกจากนี้ การลดอุณหภูมิอย่างรวดเร็วยังช่วยลดเวลาในการผลิตอีกด้วย เราเคยเห็นหน่วยงานต่างๆ ใช้หลอดไฟเหล่านี้ได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดประสิทธิภาพการทำงานเพียง 5% เท่านั้น ซึ่งหมายความว่าจำเป็นต้องเปลี่ยนหลอดไฟน้อยลง และกระบวนการผลิตก็จะมีความเสถียรมากขึ้น
สิ่งที่คุณควรรู้ก่อนการติดตั้งคือ การติดตั้งหลอดไฟนั้นต้องคำนึงถึงขนาดของอุปกรณ์และอินเทอร์เฟซทางไฟฟ้าด้วย ควรตรวจสอบแรงดันไฟฟ้า ชนิดของขั้วต่อ และระบบระบายความร้อน ไม่ว่าจะเป็นการใช้อากาศหรือน้ำ ก่อนที่จะสั่งซื้อ
แสงจากหลอดไฟจะส่องไปในแนวเดียวกัน ดังนั้น ชิ้นส่วนต่างๆ อาจสร้างเงาและทำให้เกิดจุดที่มีอุณหภูมิต่ำลงได้ การปรับตำแหน่งและการปรับรูปร่างของลำแสงจึงเป็นส่วนหนึ่งของขั้นตอนการติดตั้ง ไม่ใช่สิ่งที่ต้องทำหลังจากนั้น
คาดว่าจะต้องใช้เวลาสักพักเพื่อให้หลอดไฟทำงานได้อย่างสม่ำเสมอ และเพื่อตรวจสอบความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนแผ่นวีเซอร์ หลังจากนั้น กระบวนการผลิตก็จะมีความเสถียรต่อไป