บนพื้นลิเทอโรกราฟี การอบเบาและอบแข็งไม่ใช่แค่ขั้นตอนอุณหภูมิ—แต่มันเป็นเส้นแบ่งระหว่างความแม่นยำของลวดลายที่ดีและเวเฟอร์ที่กลายเป็นของเสีย อุณหภูมิที่เปลี่ยนไปเพียงไม่กี่องศาทั่วทั้งเวเฟอร์จะส่งผลให้เกิดความแปรผันของความกว้างของลวดลาย และหากขั้นตอนการอบทำให้เกิดอนุภาค คุณกำลังทำให้แทร็กมีมลพิษ เราได้สร้างเครื่องอบอินฟราเรดขนาดกะทัดรัดสำหรับ IC เพื่อให้อะไรที่เป็นตัวแปรเหล่านั้นหมดไป
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง มันใช้ตัวปล่อยอินฟราเรดคลื่นสั้นภายในห้องที่ออกแบบมาสำหรับการสะท้อนเพื่อส่งพลังงานตรงไปยังฟอตอเรสซิสต์ ไม่ใช่ไปยังตัวกลาง ทั่วทั้งเวเฟอร์ขนาด 300 มม. ความสม่ำเสมอทางความร้อนจะรักษาอยู่ที่ ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำระหว่างรอบจะคงอยู่ภายใน ±0.2°C อัตราการเพิ่มอุณหภูมิสูงถึง 10°C/s ดังนั้นคุณจึงสามารถลดเวลาในการอบโดยไม่ทำให้เกิดความเสียหายต่อสแต็ก
มันถูกออกแบบมาให้ตั้งอยู่ในห้องสะอาดชั้น Class 1–100: เส้นทางจากควอตซ์และอลูมิเนียมอโนไดซ์ วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซต่ำ และโปรไฟล์การไหลลามิเนอร์ที่ทำให้จำนวนอนุภาคคงที่ การสร้างอนุภาคเป็นศูนย์ไม่ใช่คำขวัญ—แต่มันเป็นข้อกำหนดในการออกแบบ และเรายืนยันด้วยการตรวจสอบในสถานที่
ทำไมสิ่งนี้จึงมีประสิทธิภาพในสาย IC พื้นที่จำกัดและหน้าต่างกระบวนการแคบ เครื่องอบนี้ทำให้การอบฟอตอเรสซิสต์มีความแน่นอน ดังนั้นการควบคุม CD จึงเข้มงวดมากขึ้นและการทำงานซ้ำลดลง พื้นที่ตั้งมีขนาดเล็กพอที่จะวางอยู่ข้างแทร็กได้โดยมีการทำงานซ้ำขั้นต่ำ และมันสามารถตั้งค่าได้อย่างรวดเร็ว ลดเวลาที่ว่างระหว่างล็อต
เนื่องจากตัวปล่อยพลังงานกระทบโหลดโดยตรงและมวลความร้อนต่ำ การใช้พลังงานจะลดลง ความน่าเชื่อถือขึ้นอยู่กับเวลาใช้งาน: องค์ประกอบที่ออกแบบมาสำหรับการใช้งานตลอด 24 ชั่วโมงตลอด 7 วัน และสถาปัตยกรรมความร้อนที่สามารถจัดการการทำงานต่อเนื่องโดยไม่เกิดการเกินอุณหภูมิ
สิ่งที่คุณต้องวางแผนอย่างแท้จริง ขนาดกะทัดรัดไม่ได้หมายความว่าเสียบแล้วก็เล่น คุณยังต้องการการระบายอากาศที่เฉพาะเจาะจง พร้อมกับอากาศสะอาดและแห้ง ความคลาดเคลื่อนในการติดตั้งมีความเข้มงวด—ตรวจสอบการจัดแนวกับการส่งมอบเวเฟอร์และตรวจสอบให้แน่ใจว่าโรบอทมีพื้นที่ว่างที่ต้องการ
มันสามารถรวมเข้ากับอินเตอร์เฟซแทร็กมาตรฐานได้อย่างลงตัว แต่ควรทำการตรวจสอบคุณสมบัติที่เฉพาะเจาะจงกับไซต์เพื่อกำหนดโปรไฟล์การอบสำหรับฟอตอเรสซิสต์ของคุณ นี่คือวิธีที่คุณทำให้ตัวเลขยึดติดในการผลิต