บนพื้นลิธอกราฟี การอบเบา ๆ ที่เปลี่ยนแปลงแม้แต่หนึ่งองศาก็ทำให้ความหนาของฟิล์มฟอโตเรซิสต์ออกนอกสเปค ความไม่สม่ำเสมอของการอบแข็ง? นั่นคือการเชิญชวนให้เกิดการพังทลายของลวดลาย โคมไฟทำความร้อนบนแทร็กเวเฟอร์ไม่ใช่แค่ชิ้นส่วน—พวกมันเป็นตัวยึดทางความร้อนที่ทำให้กระบวนการมีความถูกต้องในแต่ละกะ
สิ่งที่สำคัญภายใต้ฝากระโปรง เราออกแบบโคมไฟนี้โดยใช้ผู้ปล่อยฮาโลเจนอินฟราเรดคลื่นสั้น (SWIR) ในซองควอทซ์ จุดประสงค์คือการถ่ายทอดพลังงานไปยังฟอโตเรซิสต์โดยตรง โดยไม่ทำให้ห้องอบร้อน คุณจะได้รับความสม่ำเสมอทางความร้อนในระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ทั่วทั้งพื้นผิวการอบ และความเสถียรของจุดตั้งค่าที่รักษาไว้ได้ตลอด 24/7 ตามจังหวะการผลิต ผลลัพธ์ยังคงซ้ำได้ตั้งแต่ 100°C ถึง 250°C โดยมีการฟื้นตัวภายในไม่กี่วินาทีหลังจากโหลดเวเฟอร์—ดังนั้นงบประมาณด้านความร้อนของคุณจะยังคงเข้มงวด แพ็คเกจนี้เข้ากันได้กับห้องสะอาดสำหรับ Class 1–100 ได้รับการตรวจสอบที่การสร้างอนุภาคเป็นศูนย์โดยการตรวจสอบในสถานที่ และสามารถติดตั้งในพื้นที่และการเชื่อมต่อของแพลตฟอร์มแทร็กเวเฟอร์หลักๆ
เหตุผลที่สามารถใช้งานในการผลิต ในแทร็กเวเฟอร์ คุณจำเป็นต้องให้โปรไฟล์การอบมีความสม่ำเสมอระหว่างล็อต ระหว่างกะ และแม้เมื่อโคมไฟเสื่อมสภาพ โคมไฟนี้ทำเช่นนั้น ผลลัพธ์คือการเบี่ยงเบนของ CD และความหนาที่น้อยลง ขยะน้อยลง และรอบการรับรองที่ไม่ยืดเยื้อ คุณยังประหยัดพลังงานเพราะ SWIR ทำให้เรซิสต์ร้อนขึ้นโดยตรงแทนที่จะทำให้โมดูลทั้งหมดร้อนขึ้น และด้วยอายุการใช้งานของผู้ปล่อยที่ยาวนาน คุณจะไม่ต้องติดตามช่วงการบำรุงรักษาป้องกันบ่อยนัก นี่คือทางเลือกที่ได้รับการตรวจสอบและเทียบเท่ากับแหล่งความร้อนของอุปกรณ์เดิม สอดคล้องกับมาตรฐานอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ระหว่างประเทศในด้านประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือ
สิ่งที่ต้องระวังในการติดตั้ง ความเข้มของ SWIR สูง ดังนั้นการจัดตำแหน่งออปติคัลและการป้องกันต้องทำอย่างสะอาดระหว่างการติดตั้ง—มิฉะนั้นคุณมีความเสี่ยงที่จะเกิดจุดร้อนและอาจทำให้โพลิเมอร์ใกล้เคียงเสียหาย โคมไฟทำงานกับแรงดันไฟฟ้าและการเชื่อมต่อมาตรฐาน แต่ยังต้องการตัวยึดทางความร้อนที่เสถียรและการนำไอเสียที่เหมาะสมเพื่อให้จำนวนอนุภาคในห้องสะอาดอยู่ในระดับที่ควรจะเป็น วางแผนในการปรับระดับอย่างรวดเร็วเพื่อให้ถึงสมดุลทางความร้อนหลังจากเปลี่ยนโคมไฟ จากนั้นให้ทำการรับรองโปรไฟล์การอบอีกครั้งก่อนที่คุณจะปล่อยสายการผลิต