Mengekalkan Kebersihan Bilik Bersih Kelas 100
Apabila anda mengendalikan bilik bersih kelas 100, anda sebenarnya sedang berjuang melawan faktor-faktor yang tidak dapat dilihat dengan mata kasar. Sebuah zarah debu sebesar satu mikron saja sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan kumpulan wafer yang diproses. Ini sangat menyusahkan. Biasanya, punca masalah ini adalah bahan-bahan yang tidak dijangka, seperti komponen pemanasan yang digunakan.
Jika lampu tersebut mengeluarkan gas atau zarah-zarah kecil, ia akan menyebabkan pencemaran dalam proses pemprosesan. Itulah sebabnya kami menggunakan kuarsa sintetik berkualiti tinggi untuk lampu IR kami.
Mengapa bahan tersebut penting
Kebanyakan kaca atau kuarsa biasa tidak mampu menahan suhu yang tinggi. Ia akan rosak atau terkelupas akibat tekanan haba yang tinggi. Ini bukanlah perkara yang baik. Kami menggunakan kuarsa sintetik kerana ia tahan lama, tidak mudah terurai secara kimia, dan tidak terkelupas. Kami juga memastikan bahawa penutup kuarsa tersebut disatu padukan dengan rapat. Ini dapat mengelakkan adanya pori-pori kecil yang boleh menjadi tempat penyimpanan kotoran, sekali gus memastikan permukaan wafer tetap bersih semasa proses pemprosesan yang cepat.
Menentukan suhu yang tepat
Alat-alat yang digunakan untuk memproses wafer memerlukan suhu yang tepat. Untuk mencapainya, kami menyesuaikan diameter filamen dan voltan agar output spektrumnya sesuai.
Rahsianya ialah sinar IR gelombang pendek sampai ke permukaan wafer dengan lebih cepat berbanding gelombang panjang. Ini memberikan profil haba yang lebih konsisten pada seluruh permukaan wafer.
Namun, perlu berhati-hati dengan kuasa yang digunakan. Lampu-lampu ini menghasilkan haba yang tinggi. Jika anda cuba meningkatkan voltan secara berlebihan, filamen lampu akan rosak dengan lebih cepat. Anda perlu mencari keseimbangan antara kuasa yang digunakan dan kapasiti penyejukan alat tersebut agar hujung lampu tidak rosak.
Menggantikan lampu tanpa masalah
Kami merancang lampu-lampu ini agar mudah digantikan. Tiada masalah yang rumit. Sambungan lampu direka khusus untuk mengelakkan geseran yang boleh menghasilkan debu. Anda tidak mahu ada lebih banyak zarah debu di udara semasa proses penggantian lampu.
Penempatan lampu juga perlu tepat. Jika lampu sedikit saja tidak betul posisinya, sinar IR akan tersasar dan menyebabkan kawasan tertentu pada wafer menjadi terlalu panas. Kami memastikan toleransinya sangat ketat agar lampu berada di posisi yang tepat.
Satu lagi perkara penting: pastikan teknisi anda berhati-hati. Gunakan hanya kain yang bebas debu dan cecair IPA. Cap jari sahaja sudah cukup untuk merosakkan permukaan kuarsa pada suhu yang tinggi, sehingga menyebabkan masalah dalam pengagihan haba. Lebih baik elakkan perkara ini daripada berlaku.