Mengatasi Masalah Kegagalan Lampu dalam Proses Pemanasan Wafer yang Memerlukan Beban Tinggi
Ketika kita memaksa sistem pemanasan wafer bekerja pada tahap maksimum, situasinya menjadi sangat berisiko. Secara khusus, lampu kuarsa boleh pecah. Sejujurnya, keadaan ini merupakan mimpi ngeri—lampu yang pecah akan menyebabkan serpihan kaca dan bahan kimia tumpah ke atas wafer tersebut. Satu kegagalan saja sudah cukup untuk merosakkan seluruh batch wafer tersebut.
Itulah sebabnya kami merancang sistem inframerah kami dengan cara yang tepat.
Logik “Jarak Keselamatan”
Terdapat pertentangan antara keperluan tenaga panas dan risiko yang mungkin timbul. Memang menggoda untuk meletakkan lampu sebisa mungkin dekat dengan sumber panas, agar masa pemanasan dapat dikurangkan. Namun, tindakan ini akan memberi tekanan yang besar pada lampu kuarsa tersebut.
Kami menetapkan jarak keselamatan minimum berdasarkan kuasa lampu tersebut. Jika lampu tersebut pecah, jarak ini akan memastikan serpihan kaca tidak jatuh tepat pada wafer tersebut.
Mengelakkan Kerosakan
Kami menggunakan kuarsa berkualiti tinggi kerana ia mampu menahan tekanan akibat siklus pemanasan yang cepat tanpa pecah. Namun, itu belum cukup. Kami juga menggunakan lapisan pelindung untuk melindungi wafer tersebut. Lapisan ini berfungsi sebagai penghalang fizikal yang memastikan haba hanya sampai ke tempat yang diperlukan. Jika lampu pecah, serpihan kaca akan terperangkap di dalam perlindungan tersebut. Dengan cara ini, wafer tetap bersih.
Keseimbangan Antara Kuasa dan Udara
Lampu berkuasa tinggi memang cepat dalam menghasilkan haba. Namun, ia juga menimbulkan beban yang besar pada sistem bekalan kuasa dan sistem penyejukan. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, haba akan terkumpul di sekitar lampu tersebut. Ini akan menyebabkan kerosakan pada filamen lampu tersebut. Untuk mengelakkan hal ini, perlu ada keseimbangan antara kuasa yang dihasilkan dan aliran udara dalam sistem tersebut. Pastikan jarak antara komponen-komponen tersebut mencukupi. Dengan cara ini, sistem akan bertahan lebih lama.