Di ruang litografi, perubahan suhu semasa proses pembakaran yang sedikit sahaja pun boleh merosakkan kawalan ketebalan lapisan fotoresist. Proses pembakaran yang berlaku pada suhu yang tinggi di satu kawasan dan rendah di kawasan lain pula akan menyebabkan kegagalan lapisan fotoresist. Proses pengeringan wafer bukanlah sesuatu yang remeh – ia merupakan faktor penting yang mempengaruhi kualiti produk. Kami telah merancang mentol lampu pengeringan wafer ini agar dapat mengawal suhu dengan baik, walaupun dalam keadaan bajet yang terhad.
Apa yang penting dari segi teknikal:
Mentol ini direka untuk memastikan suhu yang seragam pada permukaan wafer, iaitu dalam lingkungan ±0.1°C. Dengan cara ini, lapisan fotoresist akan mendapat suhu yang sama setiap kali proses pembakaran dilakukan.profil inframerah berkadar pendek akan meningkat dengan cepat dan pulih dengan cepat juga, sehingga masa proses pembakaran dapat dikurangkan tanpa mengorbankan keseragaman suhu. Selubung kuarsa yang digunakan bersesuaian dengan standard bilik bersih kelas 1–100. Reka bentuk filamen dan komponen penyangga pula dibuat sedemikian rupa agar penghasilan zarah-zarah berbahaya dapat dikurangkan sebanyak mungkin semasa operasi. Prestasi mentol ini tetap stabil selama lebih dari 5,000 jam, dan saiznya sesuai dengan holder lampu standard yang digunakan dalam modul pembakaran.
Inilah sebabnya mengapa mentol ini sangat sesuai untuk digunakan dalam modul pembakaran: kita memerlukan suhu yang boleh dipercayai setiap kali. Mentol ini memastikan kawasan yang panas tetap seragam, sekali gus mengurangkan kecacatan pada lapisan fotoresist akibat perbezaan suhu. Proses pemanasan yang lebih cepat membolehkan langkah-langkah pembakaran dilakukan dengan lebih efisien, tanpa mengorbankan keseragaman suhu. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana sistem tidak perlu menghabiskan masa untuk mengekalkan suhu yang tetap. Jangka masa penggantian mentol juga bertambah panjang, kerana reka bentuknya membolehkan mentol itu beroperasi secara berulang-ulang. Ini bermakna keperluan untuk stok mentol ganti berkurangan, dan masa penyelenggaraan juga berkurangan.
Beberapa nota praktikal:
Mentol ini direka untuk prestasi termal yang terkawal, namun ia sensitif terhadap aliran udara dan cara pemasangannya. Pastikan ia dipasang dengan jarak yang betul dan menggunakan holder yang sesuai. Jika tidak, risiko berlakunya kawasan panas dan tekanan mekanikal akan meningkat. Pastikan voltan dan jenis sambungan modul pembakaran sepadan, agar pin-pinnya dapat disusun dengan betul dan tiada arus elektrik yang tidak diingini. Planlah masa ujian singkat selepas pemasangan, untuk memastikan suhu yang dihasilkan memenuhi spesifikasi yang ditetapkan sebelum digunakan dalam proses pengeluaran sepenuhnya.