Pada garis pengeluaran 300mm, perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses “soft bake” bukan sekadar perubahan kecil pada dimensi cakera silikon yang dihasilkan. Ia merupakan pembaziran sumber daya yang besar. Oleh itu, kami mencipta mentol pemanas jenis halogen kuarsa untuk memastikan suhu tetap stabil semasa proses pengeluaran, walaupun ketika mesin beroperasi pada kelajuan maksimum.
Apa yang penting dalam proses ini
Mentol ini menggunakan cahaya halogen berfrekuensi rendah yang terbungkus dalam selubung kuarsa berkualiti tinggi. Cahaya ini menghasilkan haba dengan cepat, dan inersia termalnya rendah. Di permukaan cakera silikon, keseragaman suhu kekal dalam lingkungan ±0.1°C, sehingga bahan fotoresest dapat menerima suhu yang konsisten, tanpa adanya titik panas yang tidak seragam. Reka bentuk mentol ini membolehkan kawalan suhu yang tepat, baik semasa proses “soft bake” mahupun “hard bake”. Hasilnya, dimensi cakera silikon tetap stabil walaupun proses berlangsung untuk jangka masa yang lama. Keserasian dengan ruang bersih kelas 1–100 dicapai melalui penggunaan bahan yang tidak mengeluarkan gas berbahaya, serta reka bentuk yang tidak menyebabkan peningkatan jumlah zarah debu ketika mesin beroperasi pada suhu tinggi.
Mengapa ini penting dalam proses litografi
Dalam proses litografi, keseragaman suhu sangat penting untuk mendapatkan hasil yang berkualiti. Dengan menggunakan mentol ini, kawalan ketebalan garisan pada cakera silikon menjadi lebih baik, jumlah cakera silikon yang gagal diminimumkan, dan perubahan suhu yang tidak diingini juga dapat dikurangkan. Respons termal yang cepat membantu mengurangkan masa yang diperlukan untuk menyelesaikan proses pengeluaran, tanpa menyebabkan masalah tambahan. Penggunaan tenaga juga dapat dikurangkan kerana haba yang dihasilkan disesuaikan dengan luas permukaan cakera silikon, bukan dengan massa keseluruhan bilik pengeluaran.
Nota penting untuk digunakan
Mentol ini tidak tahan terhadap titik panas di kawasan tertentu. Oleh itu, ia perlu dipasang mengikut arahan yang ditetapkan, serta memastikan aliran udara yang sesuai. Periksa juga geometri reflektor dan suhu soketnya – jika tidak, suhu pemanasan akan tidak seragam. Mentol ini serasi dengan peralatan OEM biasa, tetapi pastikan integrasinya betul semasa penyelenggaraan rutin, agar tidak berlaku masalah penyambungan, dan untuk memastikan prestasi ruang bersih tetap optimal.