단락을 막는 방법: 세정 공정에서의 방수형 적외선 램프
만약 세정 공정을 직접 경험해본 적이 있다면, 그 과정이 얼마나 복잡한지 잘 알 것입니다. 웨이퍼를 빠르게 가열해야 하는데, 가열 요소들은 습기와 화학물질의 증기가 가득한 환경에 위치해 있습니다. 이는 재앙을 부를 수 있는 상황입니다. 보통은 회로 단락이 발생하거나 석영관이 파손됩니다.
그래서 우리는 방수 기능이 있는 적외선 램프를 만듭니다. 이제 세정 공정이 시작될 때마다 걱정할 필요가 없습니다.
왜 단파 적외선을 사용할까?
기존의 대류식 오븐들은 속도가 매우 느립니다. 웨이퍼에 열을 전달하기 전에 먼저 공기를 가열해야 합니다. 반면 단파 적외선은 그 중간 과정을 생략합니다. 에너지가 바로 램프에서 웨이퍼로 전달됩니다. 정말 빠릅니다.
게다가, 이러한 램프들은 가열 컨트롤러와 직접 연결되어 있기 때문에, 더 이상 추측할 필요가 없습니다. 웨이퍼에 얼마나 많은 열이 가해지는지 실시간으로 확인할 수 있습니다. 데이터 기반의 생산 공정을 운영하고 싶다면, 이 방법이 유일한 해결책입니다.
문제점: 습한 환경에서의 설계
대부분의 적외선 램프는 세정 공정에서 실패합니다. 그 이유는 밀폐 구조가 제대로 작동하지 않아서입니다. 우리는 특수한 방수 케이스와 튼튼한 밀폐 장치를 사용하여 이 문제를 해결합니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 석영관은 열을 받으면 팽창합니다. 케이스가 너무 단단하면 석영관이 깨질 수 있습니다. 따라서 “방수성”과 “호흡 공간” 사이의 균형을 잘 맞춰야 합니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
고밀도 적외선 램프를 사용하면 가열 시간이 현저히 줄어듭니다. 하지만 주의해야 합니다. 작은 공간에 너무 많은 열이 발생하면 전원 장비에 큰 부담이 갑니다.
2kW급 램프를 한 모듈에 많이 넣는다면, 반드시 냉각 팬과 방열판을 함께 사용해야 합니다. 그렇지 않으면 램프 옆에 있는 전자 부품들이 손상될 수 있습니다.
좋은 소식은, 이러한 시스템들은 기존에 사용하던 표준 프로토콜을 통해 PLC에 직접 연결될 수 있다는 것입니다. 이는 처리 속도가 낮은 구형 가열기들을 대체할 수 있는 훌륭한 방법입니다. 이제 더 이상 추측할 필요가 없으며, 실제 상황을 정확하게 파악할 수 있습니다.