फैब्रिकेशन प्रक्रिया में कार्बन उत्सर्जन को कम करना – वस्तुओं को सुखाने का बेहतर तरीका
ईमानदारी से कहें तो, सेमीकंडक्टर फैब्रिकेशन प्रक्रियाओं में बहुत अधिक ऊर्जा की आवश्यकता होती है। इस ऊर्जा का अधिकांश हिस्सा थर्मल प्रसंस्करण एवं वस्तुओं को सुखाने में ही खर्च हो जाता है। यदि आप अभी भी पुराने तरीकों का उपयोग कर रहे हैं, तो आप वास्तव में एक बड़े धातुई बॉक्स एवं हवा को गर्म करने हेतु पैसे खर्च कर रहे हैं… यह तो बेकार ही है।
यदि आप वास्तव में अपने कार्बन उत्सर्जन को कम करना चाहते हैं, तो आपको कमरे को गर्म करना बंद करके सीधे वेफरों को ही गर्म करना होगा। यहीं पर इन्फ्रारेड तकनीक की भूमिका आती है।
पुराने तरीकों में समस्याएँ
सामान्य सुखाने की प्रक्रिया में पूरे कमरे, दीवारों, हवा… सब कुछ को गर्म किया जाता है। यह धीमी एवं अकुशल प्रक्रिया है।
हमने शॉर्टवेव इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग शुरू किया, क्योंकि ऐसे लैंप हवा को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं रखते। इन्फ्रारेड विकिरण सीधे वेफरों की सतह पर ही पड़ता है… यह बहुत ही तेज़ प्रक्रिया है। ऊर्जा-लेखांकन के आधार पर, हम देखते हैं कि ऊर्जा-हानि 30% से 50% तक कम हो जाती है… यह तो बहुत ही बड़ा लाभ है।
तकनीक को सही तरीके से उपयोग में लाना
इस प्रक्रिया को सफल बनाने हेतु हम उच्च-वाटेज वाले क्वार्ट्ज लैंपों का उपयोग करते हैं। अच्छी बात यह है कि हम इन लैंपों का उपयोग विशिष्ट क्षेत्रों में ही कर सकते हैं… ऐसा करने से गर्मी के कारण कोई समस्या नहीं होती। हम SCC नियंत्रकों का उपयोग करके तापमान को नियंत्रित रखते हैं।
लेकिन यहाँ एक समस्या है… ये लैंप बहुत ही गर्म हो जाते हैं… यदि आप ठंडक हेतु आवश्यक उपकरणों का उपयोग नहीं करते, तो लैंप खराब हो जाएंगे। लेकिन जब ठंडक हेतु आवश्यक उपकरणों का उपयोग सही तरीके से किया जाता है, तो सब कुछ ठीक रहता है।
इसका वास्तविक लाभ
पर्यावरणीय दृष्टि से तो यह बहुत ही अच्छा है… लेकिन वास्तव में यह फैब्रिकेशन प्रक्रिया को और बेहतर बनाता है। इन्फ्रारेड प्रणालियों में बहुत ही कम जगह की आवश्यकता होती है… चूँकि प्रक्रिया तेज़ होती है, इसलिए अधिक वेफरों को एक ही बार में संसाधित किया जा सकता है… इससे मशीनों की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
यदि आप वास्तव में अपनी प्रक्रियाओं को और बेहतर बनाना चाहते हैं, तो इन प्रणालियों का उपयोग ऊर्जा-पुनर्प्राप्ति उपकरणों के साथ करें… ऐसा करने से ठंडक हेतु उत्पन्न होने वाली ऊर्जा का उपयोग किसी अन्य उद्देश्य हेतु भी किया जा सकता है… यह तो बहुत ही अच्छा है।