पैकेजिंग से ठीक पहले, सफाई के बाद भी जो नमी बच जाती है, वह वहीं नहीं रहती – बल्कि वह एनकैप्सुलेंट में प्रवेश कर सकती है। इससे CTE में परिवर्तन होता है, जिसके कारण बाद में डीलमिनेशन की समस्या उत्पन्न हो सकती है। और यदि आप अभी भी पारंपरिक हीटप्लेटों का उपयोग कर रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि किनारों पर नमी जमना एक बड़ी समस्या है, और कणों का निर्माण भी एक बड़ी समस्या है। आपको ऐसी प्रक्रियाओं की आवश्यकता है जो स्वच्छ, पुनरावर्ती एवं ऊष्मा-संबंधी दृष्टि से उपयुक्त हों।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है? हम क्वार्ट्ज एमिटरों का उपयोग करके शॉर्ट-वेव NIR तरंगों का उपयोग करते हैं; ऐसी तरंगें पानी एवं विलायकों के अवशोषण स्पेक्ट्रम पर कार्य करती हैं। इससे सतह के नीचे तेज़ गति से ऊष्मा पहुँचती है, लेकिन कार्बनिक पदार्थों को कोई नुकसान नहीं पहुँचता। सक्रिय सतह पर तापमान स्थिर रहता है, और सेटपॉइंट में परिवर्तन ±0.5°C/सेकंड के भीतर ही होता है। यह प्लेटफॉर्म क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी कार्य कर सकती है, और हम 0.35 μm/मिनट की गति से 0.1 μm से कम आकार के कणों के निर्माण की पुष्टि कर सकते हैं। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ भी पुनरावर्ती होती हैं, इसलिए महत्वपूर्ण मापदंडों पर नियंत्रण बना रहता है।
पूर्व-पैकेजिंग में इसका क्या लाभ है? पूर्व-पैकेजिंग प्रक्रिया में, वेफरों को सुखाना, फिर फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया एवं उसका सुखाना ही आवश्यक है। NIR तकनीक से ऊष्मा की आवश्यकता कम हो जाती है, सुखाने में लगने वाला समय कम हो जाता है, एवं ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है। इससे प्रक्रिया तेज़ हो जाती है, नमी की मात्रा कम हो जाती है, एवं किनारों पर नमी जमने या अवशिष्ट विलायकों के कारण उत्पन्न होने वाली समस्याएँ भी कम हो जाती हैं। चूँकि यही प्लेटफॉर्म सुखाने एवं सुखाने की प्रक्रियाओं दोनों को संभाल सकता है, इसलिए प्रक्रिया की पुष्टि आसान हो जाती है, एवं आवश्यक उपकरणों की संख्या भी कम हो जाती है।
क्या चीजें सीखने में कठिन हैं? NIR तकनीक में दृष्टि-रेखा महत्वपूर्ण है; इसलिए आपको परावर्तक उपकरणों एवं उचित वेफर अभिविन्यास की आवश्यकता है, ताकि तापमान स्थिर रह सके। एमिटरों की दूरी एवं ऊर्जा-घनत्व, वेफर के आकार एवं फिल्म-स्टैक के अनुरूप होने चाहिए; इसलिए हम मिलकर ही इसकी योजना बनाते हैं। रैंप दर एवं समय-सीमाओं को निर्धारित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। एक बार यह सब तय हो जाने के बाद, प्रक्रिया में कोई विचलन नहीं होता।