उत्पादन क्षेत्र में, क्वांटम चिपों का उत्पादन सिर्फ संयोग से नहीं होता। इसके लिए तापीय नियंत्रण आवश्यक है। फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान होने वाले कुछ डिग्री के अंतर से ही वेफर नष्ट हो सकता है; ऐसी स्थिति में क्विबिटों की संरचनाएँ नष्ट हो जाती हैं, और हफ्तों की मेहनत बर्बाद हो जाती है। हमने क्वांटम कंप्यूटिंग चिपों के उत्पादन हेतु ऐसे ही हीटर बनाए हैं, ताकि ऐसी समस्याओं से बचा जा सके।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज खिड़कियों के माध्यम से शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड ऊर्जा का उपयोग करते हैं; साथ ही कार्बन-फाइबर से बने हीटर तत्वों का उपयोग करके ऊर्जा को तेज़ एवं प्रभावी तरीके से प्रदान किया जाता है। ऐसे में वेफरों पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है, एवं बार-बार प्रक्रिया चलाने पर भी तापमान में ≤0.05°C का ही अंतर आता है। क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ऐसे हीटरों के उपयोग से गैसों का उत्सर्जन कम रहता है, एवं तापीय प्रक्रियाओं के दौरान कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता। ऐसे हीटरों के कारण 24/7 निरंतर कार्य संभव होता है, एवं इनकी औसत उपलब्धता समय 50,000 घंटों से भी अधिक है।
यह क्वांटम उत्पादन प्रक्रिया के लिए क्यों उपयुक्त है?
ये हीटर, क्वांटम चिपों के उत्पादन हेतु आवश्यक प्रक्रियाओं – जैसे लिथोग्राफी, सॉफ्ट बेक, हार्ड बेक, आदि – के लिए ही डिज़ाइन किए गए हैं। तापमान जल्दी ही स्थिर हो जाता है; इससे बेकार समय कम हो जाता है, एवं फोटोरेजिस्ट की संरचना भी स्थिर रहती है। इसके परिणामस्वरूप CD का नियंत्रण बेहतर हो जाता है, पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं प्रक्रिया का समय भी नियंत्रित रहता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है – तेज़ तापीय प्रतिक्रिया के कारण वेफर पर ऊर्जा की खपत कम हो जाती है।
इसे लगाने से पहले क्या योजना बनानी आवश्यक है?
इसे लगाने हेतु विशेष 24VDC आपूर्ति एवं पास के मॉड्यूलों से अलग तापीय अलगाव आवश्यक है। ऐसा न करने पर तापमान की स्थिरता प्रभावित हो जाती है। ये हीटर SECS/GEM मानकों का समर्थन करते हैं; लेकिन इनका उपयोग तभी संभव है, जब मशीनों को ठीक से जोड़ा जाए। इसके अलावा, हवा के प्रवाह एवं अन्य कारकों को भी ध्यान में रखना आवश्यक है। हम ऐसी ही योजनाओं के आधार पर ही इन हीटरों का डिज़ाइन करते हैं… ताकि आपको किसी भी परेशानी का सामना न करना पड़े।