फैब फ्लोर पर, यदि बेकिंग के दौरान तापमान में थोड़ी भी व्यत्यय हो जाए, तो इसे सुधारने का कोई उपाय नहीं है। फोटोरेसिस्ट बेकिंग के दौरान थोड़ा सा भी तापमान-व्यत्यय, पूरे माइक्रो एलईडी एपी-वेफर को नष्ट कर सकता है। इसलिए, ऐसे हीटर की आवश्यकता है जो सतह पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही बनाए रख सके – हर बार बेकिंग के दौरान।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम तेज-प्रतिक्रिया वाले, क्लोज्ड-लूप नियंत्रण वाले शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग करते हैं; ताकि तापमान स्थिर रहे। वेफर की समानता को ±0.1°C के भीतर ही रखा जाता है। हॉट जोन को क्लीनरूम क्लास 1–100 में ही चलाया जाता है, ताकि कोई कण उत्पन्न न हो।
सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक
सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक, महत्वपूर्ण आयामों को नियंत्रित करते हैं। तापमान को नियंत्रित रखने से रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है। इससे उत्पादन दर में वृद्धि होती है, एवं अपशिष्ट कम हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम रहती है – सटीक नियंत्रण एवं कम लॉक-आउट समय से ऑपरेशन लागत कम हो जाती है।
जिन बातों को नजरअंदाज करने से नुकसान होता है…
ये हीटर, मानक यांत्रिक एवं विद्युत इंटरफेसों के द्वारा ही उपयोग में आ सकते हैं। लेकिन एलाइनमेंट एवं गैस-प्रवाह को उपकरण के विन्यास के अनुरूप ही रखना होता है।
अपने रेसिस्ट स्टैक एवं सब्सट्रेट स्टैक के लिए आवश्यक सेटिंग्स तय करने हेतु कमिशनिंग प्रक्रिया आवश्यक है। यदि उच्च आर्द्रता में काम किया जा रहा है, तो कंडेनसेट के प्रबंधन हेतु व्यवस्था करनी होगी – हम पहले ही पर्ज एवं एक्जॉस्ट सिस्टम की व्यवस्था कर देते हैं।
जब उत्पादन दर तापमान पर ही निर्भर होती है, तो नियंत्रण आवश्यक ही है। प्रक्रिया के अनुरूप ही हीटर की सेटिंग्स तय करनी होती हैं… तभी ही प्रक्रिया सफल होगी।