वाफर रिंस ड्रायर के लिए क्वार्ट्ज हीटर
फेब फ्लोर पर, एक रिन्स ड्रायर जो वॉटर मार्क छोड़ता है या ±0.1°C के भीतर तापमान बनाए नहीं रख पाता, वह केवल एक बॉटलनेक नहीं है—यह यील्ड को कम करता है।...
वेफर ट्रैक हीटिंग लैंप
On the lithography floor, a soft bake that drifts even a degree throws photoresist thickness off-spec. Hard bake non-uniformity? That’s an invitation...