Réduire les émissions de carbone dans les usines de semi-conducteurs : une meilleure façon de sécher les wafer
Pour être honnête, les usines de semi-conducteurs consomment énormément d’énergie. La majeure partie de cette énergie est utilisée pour les processus thermiques et le séchage des wafer. Si vous utilisez encore des fours à convection traditionnels, vous payez en réalité pour chauffer une grosse boîte métallique ainsi que l’air qui s’y trouve. C’est un gaspillage.
Si vous voulez vraiment réduire votre empreinte carbone, il faut cesser de chauffer toute la pièce et commencer à chauffer directement les wafer. C’est là que les lampes infrarouges entrent en jeu.
Les problèmes liés aux méthodes traditionnelles
Pensez à un cycle de séchage standard : on chauffe toute la chambre, les murs, l’air… tout. C’est lent et inefficace.
Nous avons opté pour des lampes infrarouges à ondes courtes, car elles n’ont pas besoin de chauffer l’air pour chauffer les wafer. Les radiations infrarouges atteignent directement la surface des wafer. C’est rapide. Très rapide. Lorsque nous effectuons des audits énergétiques, nous constatons généralement que les pertes d’énergie dues au fonctionnement en veille diminuent de 30 % à 50 %. C’est un gros avantage, tant sur le plan financier que pour la planète.
Comment bien utiliser cette technologie
Pour que cela fonctionne, nous utilisons des lampes en quartz à haute puissance. Ce qui est intéressant, c’est que nous pouvons réguler leur puissance selon les différentes zones. Il n’est pas nécessaire de chauffer tout le système ; on peut ajuster la puissance en fonction des zones concernées, afin d’éviter les points chauds. Nous maintenons une température constante grâce à des contrôleurs SCR qui permettent de régler rapidement la température.
Mais il y a un problème : ces lampes deviennent extrêmement chaudes, surtout aux extrémités. Si vous négligez le système de refroidissement ou si le flux d’air diminue, les connecteurs des lampes finiront par se brûler. C’est un équilibre délicat, mais une fois que le système de refroidissement est correctement mis en place, tout fonctionne sans problème.
Quels sont les avantages réels ?
En dehors des avantages écologiques, cette technologie permet également d’améliorer le fonctionnement de l’usine. Les systèmes infrarouges occupent beaucoup moins d’espace. Comme les cycles de séchage sont plus courts, on peut traiter davantage de wafer sans avoir besoin d’acheter ou d’installer davantage de machines. Cela rend整个操作 plus efficace. Et si vous voulez vraiment optimiser, combinez ces systèmes avec des unités de récupération d’énergie. Ainsi, vous pouvez utiliser la chaleur résiduelle provenant du système de refroidissement à d’autres fins. C’est logique.