Dans l’usine de fabrication de puces quantiques, le taux de réussite de la production n’est pas le fruit du hasard. Il dépend du contrôle thermique. Quelques degrés de variation pendant le processus de séchage du résist photo peut détruire une puce – ce qui entraîne la perte de cohérence des structures quantiques et gaspille des semaines de travail d’intégration. Nous avons conçu un chauffage spécifique pour les usines de fabrication de puces quantiques, afin d’éliminer cette variabilité.
Ce qui est vraiment important Nous utilisons des ondes infrarouges à courte longueur d’onde, transmises par une fenêtre en quartz, avec des éléments chauffants renforcés en fibres de carbone. Ainsi, la chaleur est transmise rapidement et de manière efficace. Dans la zone active, l’uniformité de température reste inférieure ou égale à ±0,1 °C, tandis que la répétabilité d’une série de productions est inférieure ou égale à 0,05 °C. Pour des salles propres de classe 1–100, ce système permet de maintenir un niveau de dégazage faible et ne génère aucune particule pendant les cycles thermiques. On obtient ainsi une fiabilité 24/7, sans temps d’arrêt imprévu, avec une durée de vie moyenne supérieure à 50 000 heures.
Pourquoi ceci convient au processus de fabrication quantique Ce chauffage est conçu pour les étapes clés de la fabrication des puces quantiques : la lithographie, le séchage doux, le séchage intense, ainsi que les contrôles thermiques essentiels. La température se stabilise rapidement, ce qui réduit le temps d’inactivité et maintient la stabilité du profil du résist photo. Les avantages sont une meilleure maîtrise de la précision des dimensions des puces, moins de besoins en retraitement, et un temps de cycle prévisible. L’utilisation d’énergie est également réduite : une réponse thermique rapide signifie moins de temps d’exposition à la chaleur, ce qui permet d’économiser de l’énergie par puce.
Ce qu’il faut planifier avant l’installation L’installation nécessite une alimentation dédiée de 24 VDC, ainsi qu’un isolation thermique efficace par rapport aux modules adjacents. Sans cela, la stabilité de la température sera compromise. Le chauffage prend en charge le protocole SECS/GEM, mais son intégration ne fonctionne que si l’interaction entre les machines est bien configurée au préalable. Il est également important de planifier l’espace nécessaire pour l’installation – le flux d’air et les espacements jouent un rôle crucial dans l’uniformité de la température.
Nous concevons nos systèmes en fonction des besoins du processus de fabrication. Ainsi, vous pouvez utiliser l’équipement sans avoir à vous soucier de ses limites.