Tại sao các bộ phản xạ được phủ vàng lại quan trọng trong quá trình xử lý wafer?
Khi xử lý wafer, chúng ta cần kiểm soát chặt chẽ lượng năng lượng sử dụng. Hầu hết mọi người vẫn sử dụng các bộ phản xạ bằng nhôm thông thường, nhưng có một vấn đề: một lượng lớn nhiệt lượng bị tỏa ra ngoài thân máy. Đó là sự lãng phí năng lượng.
Đó chính là lý do tại sao chúng ta sử dụng vàng. Nghe có vẻ xa xỉ, nhưng thực ra đây là giải pháp rất hữu ích. Vàng có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại trở lại đúng vị trí cần thiết – chính là bề mặt wafer.
Thay vì lãng phí năng lượng vào việc làm nóng không gian xung quanh, chúng ta có thể sử dụng toàn bộ năng lượng đó để đạt được nhiệt độ mong muốn. Điều này giúp chúng ta tiết kiệm năng lượng mà vẫn đảm bảo nhiệt độ cần thiết.
Hình dạng của bộ phản xạ cũng rất quan trọng.
Nếu độ cong của bộ phản xạ không chính xác, bạn sẽ gặp phải tình trạng “vùng lạnh” xung quanh các mép wafer, hoặc tệ hơn nữa, wafer sẽ bị biến dạng. Chúng tôi sử dụng các đường cong hình parabol hoặc elip để giúp tập trung nhiệt lượng một cách hiệu quả. Nhờ đó, nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer sẽ đồng đều. Không còn tình trạng xử lý không đều nữa.
Nhưng cũng có một điểm cần lưu ý: Mặc dù vàng có khả năng phản xạ nhiệt tốt, nhưng chính bóng đèn vẫn sẽ nóng lên. Vì vậy, hệ thống làm mát của máy phải hoạt động tốt. Bạn không muốn nhiệt lượng phản xạ làm hỏng các bộ phận của bóng đèn.
Điều tuyệt vời nhất là: Những bộ phản xạ này có thể thay thế ngay lập tức cho các bộ phản xạ cũ. Bạn chỉ cần lắp chúng vào hệ thống hiện có và ngay lập tức giảm thời gian xử lý wafer. Không cần phải thay thế toàn bộ hệ thống năng lượng.