Tại sao chúng ta lại từ bỏ các lò nung truyền thống để sử dụng phương pháp khử ẩm bằng tia hồng ngoại?
Ngành công nghiệp bán dẫn đang dần từ bỏ những chiếc lò nung truyền thống. Điều này hoàn toàn hợp lý. Với các quy định về việc sử dụng vật liệu không chứa chì, cùng với xu hướng sử dụng các vật liệu thân thiện với môi trường, phương pháp cũ không còn phù hợp nữa. Chúng ta chuyển sang sử dụng phương pháp khử ẩm bằng tia hồng ngoại vì phương pháp này giúp loại bỏ các chất hóa học độc hại và giảm lượng năng lượng tiêu thụ để làm nóng không khí – điều vốn không cần thiết.
Cách thức hoạt động của phương pháp này như thế nào?
Hãy tưởng tượng về một chiếc lò nung truyền thống: bạn đang làm nóng toàn bộ không khí bên trong lò, hy vọng rằng không khí đó sẽ làm nóng wafer. Nhưng cách này rất chậm và lãng phí năng lượng. Ngược lại, phương pháp sử dụng tia hồng ngoại hoạt động khác: nó sử dụng bức xạ điện từ để tác động trực tiếp lên bề mặt wafer. Năng lượng được truyền trực tiếp vào vật liệu, khiến các phân tử trong vật liệu rung động, từ đó loại bỏ các chất dễ bay hơi ngay lập tức. Phương pháp này rất nhanh – thời gian khử ẩm có thể giảm từ vài giờ xuống chỉ vài giây thôi.
Vấn đề liên quan đến việc làm sạch quy trình sản xuất
Nếu bạn sử dụng chất keo không chứa chì hoặc các loại nhựa thân thiện với môi trường, bạn cần phải cẩn thận. Những vật liệu này rất kén chọn về điều kiện nhiệt độ. Nếu nhiệt độ không được kiểm soát đúng cách, bạn có thể phá hủy toàn bộ wafer. Với phương pháp sử dụng tia hồng ngoại, chúng ta có thể điều chỉnh bước sóng sao cho phù hợp với nhu cầu của vật liệu. Ngoài ra, chúng ta cũng không cần lo lắng về lượng khí thải carbon từ các lò nung sử dụng nhiên liệu gas nữa. Không còn chất thải, không còn khí độc hại trong môi trường làm việc nữa. Chỉ còn nhiệt độ ổn định mà thôi.
Những thách thức trong quá trình sử dụng
Tuy nhiên, mọi thứ không phải lúc nào cũng dễ dàng. Bạn cần phải chú ý đến mật độ nhiệt. Vì các bóng đèn tia hồng ngoại tạo ra nhiệt độ rất cao trong một không gian nhỏ, nên nếu wafer không được đặt đúng vị trí, bạn có thể gặp phải tình trạng “điểm nóng”. Để khắc phục điều này, chúng ta cần chú ý đến khoảng cách giữa các bộ phận và sử dụng các vật liệu phản xạ nhiệt. Chúng ta muốn nhiệt được phân bố đều trên toàn bộ bề mặt wafer. Lưu ý rằng, nếu hệ thống làm mát của bạn yếu, bạn sẽ gặp phải tình trạng căng thẳng nhiệt. Bạn không thể bỏ qua việc làm mát này.
Chúng tôi thiết kế các hệ thống này sao cho chúng có thể thay thế dễ dàng cho các hệ thống làm mát cũ. Bạn chỉ cần kết nối chúng vào hệ thống hiện có, điều chỉnh độ mạnh của nhiệt độ, và bạn sẽ không còn lãng phí năng lượng để làm nóng không khí nữa.