Trên dây chuyền, sấy wafer không chỉ là một bước đơn thuần. Đây là điểm kiểm tra nhiệt cuối cùng trước khi bạn khóa chặt hiệu suất sản xuất. Một điểm...

Trên tầng lithography, một lần soft bake chệch chỉ một độ cũng làm độ dày photoresist sai quy chuẩn. Non-uniformity ở hard bake? Đó là nguyên nhân...