Jak utrzymać czystość pomieszczenia klasy 100
Jeśli podgrzewasz płytki krzemowe w środowisku klasy 100, doskonale znasz ten koszmar. Jeden mały pyłek – dosłownie jeden mikron – i cała partia produktów staje się bezużyteczna.
Problem polega na tym, że większość standardowych elementów grzewczych powoduje zabrudzenia. Za każdym razem, gdy się nagrzewają i ochładzają, uwalniają mikroskopijną ilość brudu. To prawdziwa katastrofa.
Aby temu zaradzić, używamy lamp irygacyjnych z syntetycznego kwarcu o bardzo wysokiej czystości. Są one specjalnie zaprojektowane dla przemysłu półprzewodnikowego, gdzie pojęcie „czystości” ma zupełnie inne znaczenie niż w pozostałych obszarach.
Walka z cząstkami brudu
Używamy krzemionki o niezwykle niskim poziomie zanieczyszczeń. Dlaczego? Ponieważ dzięki temu lampa nie uwalnia jonów metali ani nie ulega rozpadowi pod wpływem wysokich temperatur.
Przed zamknięciem tych lamp przechodzą one przez intensywny proces czyszczenia. Usuwamy z nich wszelkie możliwe zanieczyszczenia na powierzchni. W ten sposób, gdy włączysz lampę, jedynym czynnikiem oddziałującym na płytkę krzemową będzie promieniowanie podczerwone. Nic więcej – żadnych resztek brudu, żadnych niespodzianek.
Dostosowanie temperatury
Chodzi nie tylko o czystość, ale także o precyzję. Ustawiamy te lampy tak, aby emitowały stałe promieniowanie podczerwone. Promieniowanie to szybko i równomiernie przenika w głąb powierzchni płytki krzemowej. Dzięki temu płyta szybko się nagrzewa, a temperatura jest równomierna, bez żadnych zimnych punktów na powierzchni płytki.
Jest jednak jeden haczyk: kwarc o wysokiej czystości jest delikatny. Może oprzeć się nagłym zmianom temperatury, ale nie może wytrzymać upadków czy uderzeń.
Dodatkowa rada: używaj elementów montażowych kompatybilnych z próżnią. W przeciwnym razie doprowadzasz do ponownego zanieczyszczenia pomieszczenia, co unieważnia cały cel.
Montaż lamp w urządzeniu
Te lampy zostały zaprojektowane tak, aby można je było łatwo zastąpić istniejącymi elementami. Ich wymiary oraz parametry elektryczne są zgodne z tymi, które już używasz, więc nie musisz marnować czasu na ponowne projektowanie źródła zasilania.
Jedna rzecz, na którą należy zwrócić uwagę: sprawdź swój system chłodzenia. Upewnij się, że potrafi on poradzić sobie z ciepłem emitowanym przez płytkę krzemową. W przeciwnym razie filament szybciej zostanie uszkodzony.