Utrzymanie czystości w pomieszczeniach klasy 100
Kiedy zarządzasz pomieszczeniem klasy 100, musisz ciągle walczyć z tym, co niewidzialne. Jeden mikron kurzu – coś, czego nawet nie można dostrzec – wystarczy, by zniszczyć całą partię płytek krzemowych. To frustrujące. Zwykle winowajcą są elementy grzewcze.
Jeśli Twoje lampy uwalniają gazy lub małe cząsteczki, w praktyce zachęcasz do infekcji procesu produkcji. Dlatego używamy syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości do budowy naszych lamp IR.
Dlaczego materiał jest ważny?
Większość szkła lub taniego kwarcu nie może wytrzymać tak wysokich temperatur. Pod wpływem silnych obciążeń termicznych zaczynają się rozpadać lub odchodzić od powierzchni. To nie jest dobre.
Używamy syntetycznego kwarcu, ponieważ jest on odporny na działanie chemiczne i nie odchodzi od powierzchni. Ponadto dbamy o to, aby otoczka kwarcu była dobrze zamknięta. Dzięki temu eliminujemy te mikroskopijne otwory, w których mogą się skupiać zanieczyszczenia, dzięki czemu powierzchnia płytek krzemowych pozostaje czysta podczas szybkiego procesu termicznego.
Odpowiednia temperatura
Narzędzia do obróbki płytek krzemowych są wrażliwe na szybkość wzrostu temperatury. Aby to uzyskać, dostosowujemy średnicę żarnika oraz napięcie, aby uzyskać odpowiedni profil termiczny.
Sekret polega na tym, że krótkofalowe promieniowanie IR docierają do powierzchni płytki znacznie szybciej niż długofalowe. Dzięki temu uzyskujemy bardziej równomierny profil termiczny na całej powierzchni płytki.
Ale należy uważać na moc lampy. Lampy te działają przy wysokich temperaturach. Jeśli spróbujesz osiągnąć określoną temperaturę poprzez zbyt wysokie napięcie, tylko przyspieszasz degradację żarnika. Trzeba znaleźć odpowiedni balans pomiędzy mocą a zdolnością chłodzenia lampy, aby uniknąć uszkodzeń.
Bezproblemowa wymiana lamp
Projektowaliśmy te lampy tak, aby można je było łatwo zastąpić. Nie ma żadnych problemów. Złącza są specjalnie zaprojektowane tak, aby chronić przed powstawaniem kurzu – bo ostatnią rzeczą, jakiej potrzebujesz podczas wymiany lampy, są dodatkowe cząsteczki w powietrzu.
Lampa musi być dokładnie umieszczona we właściwym miejscu. Jeśli będzie choć trochę nie na miejscu, promienie IR nie trafią w cel, a na powierzchni płytki pojawią się gorące punkty. Staramy się utrzymać ścisłe tolerancje, aby lampa znajdowała się dokładnie tam, gdzie powinna być.
Na koniec: proszę, aby technicy byli ostrożni. Używajcie tylko chusteczek bez włókien i roztworu IPA. Jeden odcisk palca na kwarcu może powodować trwałe uszkodzenia pod wpływem wysokich temperatur, co zakłóca dystrybucję ciepła. Naprawa takich uszkodzeń jest skomplikowana, więc lepiej tego unikać.