Houd je Class 100-schoonruimte echt schoon
Als je siliciumwafels verhit in een Class 100-omgeving, weet je hoe vreselijk dat kan zijn. Eén klein stofdeeltje – letterlijk één enkele micron – is al genoeg om je hele lading onbruikbaar te maken.
Het probleem is dat de meeste standaardverwarmingselementen vuil maken. Ze scheiden telkens weer microscopisch kleine deeltjes af wanneer ze opwarmen en afkoelen. Het is een ramp die op het punt staat te gebeuren.
Wij lossen dit op door gebruik te maken van IR-lampen gemaakt van hoogzuiver synthetisch kwarts. Deze lampen zijn speciaal ontworpen voor de halfgeleiderindustrie, waar ‘schoon’ een geheel andere betekenis heeft dan voor ons.
De strijd tegen deeltjes
We gebruiken gefuseerd kwarts met een extreem lage concentratie onzuiverheden. Waarom? Omdat dit voorkomt dat er metalen ionen uit de lamp komen of dat de lamp beschadigd raakt wanneer deze heet wordt.
Voor we de lampen verzegelen, onderwerpen we ze aan een grondige reinigingssprocedure. Alle mogelijke oppervlakbesmettingen worden verwijderd. Op deze manier zal er alleen infraroodstraling op de wafel terechtkomen. Niets anders: geen deeltjes, geen stof, geen verrassingen.
Het juiste niveau van warmte
Het gaat niet alleen om schoonheid, maar ook om precisie. We stemmen de lampen af zodat ze consistent kortegolf-infraroodstraling uitzenden. Dit zorgt ervoor dat de warmte snel en gelijkmatig in de wafel terechtkomt. Hierdoor ontstaan er geen koude plekken op het substraat.
Er is echter één nadeel: hoogzuiver kwarts is wel wat gevoelig. Het kan de hitte wel verdragen, maar het kan niet tegen valpartijen of schokken.
Een tip: gebruik alleen montageonderdelen die compatibel zijn met vacuümen. Anders breng je juist nieuwe contaminanten in je ruimte, waardoor alles wat je hebt bereikt, tenietgaat.
Installeren in je apparatuur
We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Ze passen in de afmetingen en elektrische specificaties van de hulpmiddelen die je waarschijnlijk al gebruikt. Je hoeft dus geen tijd te besteden aan het herontwerpen van de voedingsbron.
Eén ding om in gedachten te houden: controleer je koelsysteem. Zorg ervoor dat het de stralingswarmte die van de wafel komt, aankan. Anders kan de gloeidraad eerder kapotgaan dan nodig is.