
Waarom we de conventionele ovens vervangen door IR-technologie
De halfgeleidersindustrie stapte eindelijk af van die ouderwetse convectieovens. Dat is logisch. Door de eisen op het gebied van milieuvriendelijke producten en het gebruik van leidvrije materialen, werkt de oude manier van werken niet meer. We kiezen nu voor IR-technologie, omdat deze geen schadelijke chemische oplosmiddelen vereist en energiebesparing mogelijk maakt.
Hoe het precies werkt
Stel je een conventionele oven voor: je verwarmt eigenlijk een enorme hoeveelheid lucht, in de hoop dat deze lucht de chip kan verwarmen. Dit proces is langzaam en inefficiënt.
IR-technologie werkt anders. Hierbij wordt elektromagnetische straling gebruikt om rechtstreeks de oppervlakte van de chip te bereiken. De energie dringt rechtstreeks door tot in het materiaal, waardoor de moleculen trillen en de vluchtige stoffen snel worden verdreven. Het proces is dus zeer snel: droogtijd wordt verkort van uren tot slechts enkele seconden.
Het schoonmaken van het proces
Als je werkt met leidvrije loodhoudende materialen of milieuvriendelijke harsen, moet je goed opletten. Deze materialen zijn gevoelig voor temperatuurschommelingen. Als de temperatuur niet optimaal is, kan dit leiden tot schade aan de chip.
Met IR-technologie kunnen we de golflengte aanpassen – kortegolftoestand of midden-golftoestand – zodat de behoeften van het materiaal precies worden vervuld. Bovendien hoef je je geen zorgen meer te maken over de milieuschade die wordt veroorzaakt door conventionele gaskochten. Er zijn geen bijproducten en geen schadelijke stoffen die zich in de ruimte verspreiden. Alleen maar schone warmte.
Het lastige deel
Het is natuurlijk niet allemaal magie. Je moet goed opletten met de hitte-intensiteit. Omdat IR-lampen veel energie in een klein gebied produceren, kunnen er ‘hot spots’ ontstaan als de chip niet op de juiste plek staat. Om dit te voorkomen, besteden we veel tijd aan het bepalen van de juiste afstanden en het gebruik van reflecterende materialen. We willen dat de hitte gelijkmatig over de hele diameter van de chip wordt verdeeld.
En nog een belangrijk punt: als je koelsysteem te zwak is om deze plotselinge temperatuurstijging aan te kunnen, zal er thermische stress ontstaan. Je kunt de koeling niet zomaar negeren.
We ontwerpen deze systemen zo dat ze gemakkelijk kunnen worden gebruikt als vervanging voor je oude koelsystemen. Je hoeft ze alleen maar aan te sluiten en de intensiteit in te stellen. Dan hoef je geen energie te verspillen aan het opwarmen van een hele ruimte.