Op de productieafdeling heb je geen kans om het proces opnieuw te starten als de temperatuur ook maar een klein beetje afwijkt. Een kleine afwijking tijdens het drogen van de fotoresist kan ertoe leiden dat de hele Micro LED-epiwafer beschadigd raakt. Je hebt dus een droogheater nodig die de temperatuur op een niveau houdt van ±0,1°C over de hele oppervlakte – bij elke behandeling, elke schift.
Wat belangrijk is achter de schermen
Wij gebruiken infraroodelementen met een snelle respons en een gesloten regelsysteem, zodat het thermische profiel zich van schift tot schift nauwkeurig herhaalt. De uniformiteit op het niveau van de wafer moet op ±0,1°C liggen. De hete zone is ontworpen voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100, zonder dat er particules worden gegenereerd.
Zachte en harde droging
Zachte en harde droging bepalen de kritieke afmetingen. Door de thermische parameters goed onder controle te houden, blijft de kwaliteit van de producten hoog. De platform is ontworpen voor 24/7 gebruik: componenten die al getest zijn, voorspelbare onderhoudstijden en geen onverwachte stilstanden.
Waarom dit werkt voor Micro LED
Bij Micro LED-processen moet de lithografie en het drogen zeer nauwkeurig worden uitgevoerd. De oplosmiddelen moeten volledig worden verwijderd, terwijl de fotoresist toch zijn vorm moet behouden. Onze droogheaters zorgen ervoor dat de temperatuur constant blijft, waardoor er minder herwerk nodig is. Hierdoor wordt de opbrengst hoger en zijn er minder defecte producten. Ook het energieverbruik blijft laag dankzij precieze temperatuurregelingen en minimale verliezen tijdens de standby-modus.
De details die belangrijk zijn
Deze droogheaters kunnen gemakkelijk worden geïnstalleerd in bestaande systemen, mits er gebruik wordt gemaakt van standaard mechanische en elektrische interfaces. Echter, de alignering en de richting van de gassstromen moeten overeenkomen met de specificaties van het apparaat. Je hebt ook een procedure nodig om de instellingen aan te passen aan je specifieke behoeften. Als je werkt in een omgeving met hoge luchtvochtigkeit, moet je rekening houden met het beheer van condensvorming. We specificeren van tevoren de configuratie voor het zuigen en afvoeren van gassen.
Als de opbrengst afhangt van de temperatuur, is controle essentieel
Stel de droogheater zo in dat deze past bij het proces. Dan zal het proces op de gewenste manier verlopen.