UHP(초고순도) 히터 램프

왜 깊은 공정에서는 열공기 대신 적외선 램프를 사용하는가? 만약 여전히 웨이퍼를 가열하기 위해 열공기를 사용한다면, 사실상 시간만 낭비하는 셈입니다. 생각해보세요. 열공기는 단순한 대류 현상일 뿐입니다. 공기를 가열하면 그 공기가 기판을 가열하는데, 이 과정에서 상당...