半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

半導体製造用のヒーターを安全に保つために クリーンルームでは、わずかな電気漏れでも大事故につながります。ほんの小さな火花や電流の漏れだけで、数秒で大量のウェーハが破壊されてしまいます。そのため、私たちは、チassis内に全く電流が漏れないようにしながら、適切な温度を維持できるようにこれらのヒーター...