半導体製造用のヒーターを安全に保つために
クリーンルームでは、わずかな電気漏れでも大事故につながります。ほんの小さな火花や電流の漏れだけで、数秒で大量のウェーハが破壊されてしまいます。そのため、私たちは、チassis内に全く電流が漏れないようにしながら、適切な温度を維持できるようにこれらのヒーターを設計しているのです。
なぜすべてのユニットをテストするのか
私たちは「抜き取り検査」や「バッチサンプリング」は行いません。それはあまりにもリスクが高いからです。工場を出る前に、すべての加熱要素に対して、完全な絶縁抵抗テストが行われます。実際には、絶縁材が破壊される限界まで負荷をかけてみるのです。肉眼では見えない微細な亀裂や、セラミックコーティング内の不純物などもチェックします。もしヒーターがテスト電圧を十分に耐えられなければ、それは廃棄処分されます。
こちらで不良品にしてしまった方が、クリーンルームで使用したときに突然故障するよりはましなのです。
材料についての詳細
私たちは高純度の絶縁材を使用しています。なぜなら、ガスの放出や粒子の飛散はクリーンルーム環境では大問題だからです。また、加熱要素はケースに封入されているため、トロリーが動く際の継続的な加熱や冷却に耐えられます。
ただ一つ注意点があります。電源装置にも注意が必要です。電圧はヒーターの抵抗値に合っていなければなりません。そうでないと、ヒーターが十分に温められないか、あるいはすぐに故障してしまいます。
実際の使用時のヒント
これらのヒーターは、特殊なトロリー上で正確な温度制御を行うのに適していますが、弱点もあります。絶縁材が非常に密であるため、機械的な衝撃に弱いのです。もしヒーターが落下したり、取り付けブラケットが強く締め付けられすぎたりすると、絶縁層が割れてしまう可能性があります。**取り付け時にはトルク制限付きの工具を使用してください。**そうすれば、後で故障する心配もありません。
そして、接地を忘れないでください。トロリーのフレームもしっかりと接地されている必要があります。ヒーターの絶縁材は第一の防御線ですが、実際に安全を守るのは接地です。